花籃/片盒清洗機(jī)-華林科納

適應(yīng)當(dāng)前所有型號(hào)的花籃和片盒、傳輸片盒、前端開口片盒 （Foup片盒）的清洗和干燥系統(tǒng)

優(yōu)點(diǎn)

裝載晶圓直徑至200mm的花籃和片盒—或不同晶圓尺寸的花籃和片盒，同時(shí)可裝載晶圓直徑至300mm的前端開口片盒（Foup片盒） 三種設(shè)備尺寸滿足客戶特殊需求

> CleanStep I – 用于4組花籃和片盒 加載和清洗能力：每次4組花籃和片盒 清洗產(chǎn)能：每小時(shí)12組花籃和片盒

> CleanStep II – 用于8組花籃和片盒 加載和清洗能力：每次8組花籃和片盒 清洗產(chǎn)能：每小時(shí)24組花籃和片盒

> CleanStep III – 用于6組前端開口片盒（Foup） 加載和清洗能力：每次6組前端開口片盒（Foup片盒） 清洗產(chǎn)能：每小時(shí)18組前端開口片盒（Foup片盒）

> 適用于晶圓直徑至200mm的花籃和片盒的標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)籠 (Cleanstep I/II)

> 適用于所有片盒一次清洗過程

> 或是同時(shí)4組花籃和片盒，或是12個(gè)花籃(Cleanstep I/II)

> 簡(jiǎn)單快捷的對(duì)不同尺寸的片盒和花籃進(jìn)行切換 > 旋轉(zhuǎn)籠內(nèi)的可旋轉(zhuǎn)載體方便加載或卸載花籃和片盒

> 通過控制系統(tǒng)對(duì)自鎖裝置的檢測(cè)，達(dá)到安全加載片盒和花 籃，及其運(yùn)行

特征和優(yōu)點(diǎn)

可應(yīng)用不同化學(xué)品（稀釋劑）來(lái)清洗

> 泵傳輸清洗液

> 計(jì)量調(diào)整可通過軟件設(shè)置控制操作

熱水噴淋裝置

> 熱水一般由廠務(wù)供應(yīng) — 標(biāo)準(zhǔn)化

> 或有一個(gè)體積約100升的熱水預(yù)備槽（循環(huán)泵和加熱棒用于熱水預(yù)備槽—選項(xiàng)）

籠子

> 帶有可變速旋轉(zhuǎn)的控制的高扭矩伺服電機(jī)（按照加載量和設(shè)備配置，旋轉(zhuǎn)速度200rpm,） > 旋轉(zhuǎn)的不銹鋼籠子

> 會(huì)自動(dòng)停止工作（運(yùn)行過程中出現(xiàn)失衡狀態(tài)時(shí)）

熱空氣干燥

> 頂端吹下熱空氣

> 采用根據(jù)設(shè)備待機(jī)和工藝運(yùn)行模式的可調(diào)風(fēng)量的風(fēng)扇裝置

> 不銹鋼架上裝有加熱器，可以溫度控制

> 軟件監(jiān)控溫度

> 帶有反壓控制的高效過濾器

輔助功能和操作控制

> 觸摸屏安裝在前面—標(biāo)準(zhǔn)化

> 也可以通過安裝第二個(gè)觸摸屏在背面進(jìn)行控制—選項(xiàng)

其他特征

> 工藝腔室內(nèi)LED燈光照明

> 可安裝去靜電裝置和電阻率監(jiān)測(cè)裝置——選項(xiàng)

> 穩(wěn)定、亞光不銹鋼籠子

> 材料的外殼—可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)

> PP材料的工藝腔室—可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)

> 設(shè)備前面帶有滑動(dòng)門—標(biāo)準(zhǔn)化為手動(dòng)/可選擇自動(dòng)

> 設(shè)備前面的滑動(dòng)門在做維護(hù)時(shí)可打開

> 其他種類的花籃和片盒相適應(yīng)的組件—選項(xiàng)

圖形化的界面

> 易于操作和控制

> 10“觸摸屏PLC控制器

> SECSII GEM接口—選項(xiàng)

> 訪問的密碼保護(hù)

> 可以編輯40多個(gè)菜單，每個(gè)菜單可有50步

> 可變量數(shù)據(jù)輸入（時(shí)間、溫度、速度等）

> 設(shè)備背面安裝第二個(gè)觸摸屏—選項(xiàng)

花籃和片盒清洗機(jī)