JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡是一種用于設(shè)置和測(cè)試微焦 X 射線系統(tǒng)的光刻生產(chǎn)的測(cè)試模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率，對(duì)應(yīng)于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線束應(yīng)用于硅載體

JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡特點(diǎn)：

• 每個(gè)測(cè)試圖案由 8 條線組成，T 形布局

• 吸收材料：鎢，厚度>=650nm

• 保護(hù)膜：PET膜25μm（含粘合劑）

• 硅基：15 µm +/- 1 µm（厚度）

• 外殼尺寸：40 x 30 x 5 毫米（寬 x 高 x 深）

• 芯片尺寸：5 x 5 x 0.06mm（寬 x 高 x 深）

• 精度模式： 公差： +/- 10%

• 適用范圍工作溫度：10°C至70°C

用途：
在 X 射線系統(tǒng)的分辨率測(cè)試。選擇檢測(cè)器、樣品和試管之間的距離，以便獲得盡可能高的放大倍數(shù)。現(xiàn)在選擇所需的 X 射線參數(shù)。將測(cè)試圖案放置在試管前面，以便一束線條中的每條線條清晰可見(jiàn)。使用機(jī)械手進(jìn)行溶出度測(cè)試，使下一個(gè)最小的線束變得可見(jiàn)。只要線條清晰，就繼續(xù)。以下近似適用：焦點(diǎn)尺寸等于分辨率乘以 2。


JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試的布局+封裝