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產(chǎn)品簡介
SWAGELOK SCF 系列 UHP 氣體過濾器旨在滿足 SEMI E49.8-96 的嚴(yán)格要求。 憑借專有的 Membralox 陶瓷元件和 316L VAR 不銹鋼外殼，SCF 系列 UHP 過濾器是許多要求苛刻的氣體過濾應(yīng)用的解決方案。
Membralox陶瓷過濾技術(shù)
原裝 Swagelok VCR 端面密封接頭
在大流速下 0.003 µm 顆粒去除率大于 99.9999999 %
流量達(dá) 2700 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘
高顆粒去除效率
低的顆粒脫落
良好的的水分干燥特性
低的釋氣
良好的的化學(xué)相容性
高差壓等級
直列式全焊接結(jié)構(gòu)
大流速：30、225、600、900 和 2700 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘
端接：1/4、1/2 和 3/4 英寸一體式外螺紋 VCR 面密封接頭； 1/4 英寸內(nèi)螺紋 VCR 面密封接頭
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移動(dòng)站：SWAGELOK超高純氣體過濾器SCF
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