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產品簡介
桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀
本小型蒸發(fā)鍍膜儀可進行真空蒸鍍,在對樣品進行蒸發(fā)鍍膜的過程中,樣品臺可進行旋轉,以獲得更均勻的薄膜。鍍膜電流*大可達60A,本型號的小型蒸發(fā)鍍膜儀應用范圍廣,可制備各種金屬薄膜和部分非金屬薄膜,因此被廣泛用于電極的制備和有機物發(fā)光LED的制備。設備配有兩套蒸發(fā)源,可以通過擋板切換,實現(xiàn)對樣品的多層鍍膜。儀器體積小巧,可有效節(jié)約實驗室空間;操作簡單,對不同材料的適應性強,十分適合實驗室選購。
產品特點
1. 樣品臺可以旋轉,鍍膜效果能夠更加均勻;
2. 采用鎢絲籃為發(fā)熱源,*高溫度可達到1700℃;
3. 可向真空腔體中通入惰性氣體,對腔體進行清洗,也可通入反應氣體,進行反應蒸發(fā)鍍膜。
4. 進氣口配有針閥,用于調節(jié)進氣流量。
5. 雙蒸法源,可以實現(xiàn)多層鍍膜。
技術參數(shù)
| 項目 | 明細 |
| 產品型號 | CY-EVP180G-2S-LV (2 Source) |
| 供電電壓 | AC220V,60Hz |
| *大功率 | 1200W |
| 蒸發(fā)源數(shù)量 | 2x鎢絲籃 |
| 樣品臺 | 直徑φ65mm; 可旋轉,轉速0-20rpm; 與蒸發(fā)源間距可調,調節(jié)范圍60mm-100mm |
| 真空腔體 | 材質:高純石英 φ180mm x 210mm |
| *高溫度 | 1700℃ |
| 熱電偶 | B型熱電偶 |
| 真空計 | 電阻式真空計 |
| 真空接口 | KF16 |
| 進氣接口 | 1/4NPS |
| 整機尺寸 | 500x350x400mm |
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