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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
本儀器是一款高真空緊湊型熱蒸發(fā)鍍膜儀，蒸發(fā)溫度從200℃到1700℃，采用鎢絲籃作為蒸發(fā)源，蒸發(fā)源外套高純氧化鋁坩堝。上蓋裝有可旋轉(zhuǎn)的樣品臺(tái)，能夠有效提高成膜的均勻度。儀器擁有高精度的溫度控制系統(tǒng)，采用循環(huán)加熱方式，能夠穩(wěn)定蒸發(fā)金屬及有機(jī)物。采用不銹鋼高真空腔體設(shè)計(jì)，配高精度分子泵，能夠達(dá)到高真空要求，較高的真空度能夠有效提升蒸發(fā)鍍膜的效率及質(zhì)量。
小型高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀用途：
本儀器適用于蒸發(fā)涂覆大多數(shù)金屬和某些有機(jī)材料薄膜。
小型高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
小型高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀 | ||||
樣品臺(tái) | 尺寸 | φ65mm | 至蒸發(fā)源間距 | 60mm~100mm可調(diào) |
轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm可調(diào) |
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蒸發(fā)系統(tǒng) | 蒸發(fā)源 | 鎢絲籃 | *高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | S型熱電偶 |
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真空腔體 | 腔體尺寸 | φ170mm× 200mm | 觀察窗口 | 石英觀察窗 φ70 |
腔體材料 | 不銹鋼 | 開啟方式 | 上開啟式 | |
真空系統(tǒng) | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-GZK103-A | 抽氣接口 | KF40 |
分子泵 | CY-600 | 排氣接口 | KF16 | |
前極泵 | 旋片泵 | 真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì) | |
極限真空 | 1.0E-5Pa | |||
抽氣速率 | 分子泵：600L/S 旋片泵：1.1L/S 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達(dá)： 1.0E-3Pa | |||
其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 整機(jī)尺寸 | 600mm× 300mm× 470mm |
整機(jī)功率 | 1.5kw | 整機(jī)重量 | 40kg | |
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