產(chǎn)品簡介
本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，可*大支持300A的大電流，加熱溫度*高可達3000℃，可實現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計，腔體和電控部分左右分置，實現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶的安全。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計，真空系統(tǒng)、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨立操作，在盡可能方便用戶的同時規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計*性能*，是實驗室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗的*之選。
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀 | ||||
樣品臺 | 尺寸 | *大支持φ150mm樣品 | 高度 | 上下70mm可調(diào) |
蒸發(fā)源 | 數(shù)量 | 鎢舟x2 |
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真空腔體 | 腔體尺寸 | φ300x400mm | 觀察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 |
| 腔體材料 | 304不銹鋼 | 開啟方式 | 前開門式 |
膜厚控制 | 晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀 | |||
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵 | 抽氣接口 | KF16 |
| 次級泵 | 渦輪分子泵 | 抽氣接口 | CF160 |
| 真空測量 | 電阻+電離 復(fù)合真空規(guī) | 排氣速率 | 機械泵1.1L/s 分子泵 600L/s |
| 極限真空 | 1.0E-5Pa | 供電電源 | AC 220V 50/60Hz |
| 抽氣速率 | 旋片泵：1.1L/S | ||
流量計 | 一路質(zhì)量流量計 500sccm Ar氣 | |||
控制系統(tǒng) | PLC自動控制 操作界面：觸控屏+操作面板 | |||
其他 | 供電電壓 | AC380V,50Hz | 整機尺寸 | 1000mm X 800mm X 1500mm |
| 整機功率 | 5kW | 整機重量 | 350kg |
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