VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀,基片尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材 和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉樣品臺,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,鋁,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.
技術參數(shù)
| 輸入功率 |
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| 輸出功率 |
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| 樣品室 | 石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height |
| 加熱樣品臺 |
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| 控制面板 |
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| 可選
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| 進氣口 | 一個針閥安裝在進氣口,以實現(xiàn)更好的等離子涂層 |
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標配靶材分別有
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| 外形尺寸 |
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| 質保期 | 一年質保期,相關耗材除外,終身維護。 |
| 質量認證 | Certified |


















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