輸入電源

208 - 240VAC , 10A , 50/60 Hz, 單相

功率

< 2000W (包括真空泵)

輸出電壓 (DC)

• AC10V 電流 100A （對(duì)于真空鍍膜）
• DC 3KV, 10mA （對(duì)于等離子濺射）

真空腔體

有一玻璃鐘罩：250mm dia. x 340mm

（2）玻璃處理室：

• 玻璃罩 A:內(nèi)徑８８mm×高度１４０mm（用于真空鍍膜)
• 玻璃罩 B:內(nèi)徑８８mm×高度５７mm（用于等離子濺射）

鍍膜裝置

對(duì)于制膜，儀器可設(shè)置三種模式：

（1）一種模式專門針對(duì)于蒸發(fā)鍍膜（下方左圖）

• 此儀器可以同時(shí)蒸鍍兩種材料，其溫度可以達(dá)到1800℃
• 采用鎢絲進(jìn)行加熱

（2）蒸碳鍍膜模式（下方中圖）

儀器中包括有兩組碳棒

（3）直流等離子濺射模式（下方右圖）儀器中包含有一金靶（38mm Dia x 0.2 mm t）

• 可在本公司選購(gòu)其他材質(zhì)靶材

樣品臺(tái)

• 樣品臺(tái)可以自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)（見做圖）
• 樣品臺(tái)尺寸：40mm
• 儀器上安裝有一電動(dòng)快門用于控制蒸鍍的開始與停止

真空泵

• 儀器下端安裝有一機(jī)械泵和分子泵
• 抽速:600L/S
• 真空度: 10-6 torr
• 設(shè)備工作環(huán)境溫度:< 32°C

控制面板

在控制面板上可以選擇鍍膜模式，調(diào)節(jié)濺射電流和蒸發(fā)功率

外型尺寸

L800mm× W560mm× H1340mm

凈重

150 kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)