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產(chǎn)品簡介
PCE-80是一款較打型的等離子清洗機，等離子腔體為8.5diax12L的石英腔體，采用的射頻電源功率0-100W連續(xù)可調節(jié)
PCE-80 等離子清洗機詳細信息
PCE-80是一款較打型的等離子清洗機，等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調節(jié)。此款設備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等）。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。
技術參數(shù)
| 輸入電源 |
|
| 射頻功率 |
|
| 等離子腔體 |
|
| 控制面板 |
|
| 真空泵 |
|
| 通入氣體 | 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質所定） |
| 可選 |
|
| 外型尺寸 | 620 L ×450 W ×600 H, mm |
| 質保期 | 一年質保期，終生維護 |
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