產(chǎn)品簡介
| 大氣壓 | 70~106KPa |
|---|---|
| 工作臺面中心振動靜位移µm(rms) | 0.6 |
| 主過濾器類別 | ULPA |
| 人員保護 | 6.89*100000 |
| 主過濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
| 下降氣流速度(m/s） | 0.30 |
| 流入氣流速度(m/s） | 0.58 |
| 外排風(fēng)量（m3/h） | 360 |
| 頻率 | 50±1Hz |
|---|
| 工作室內(nèi)表面材質(zhì) | SUS304 |
|---|---|
| 重量（Kg） | 180 |
| 腳輪 | 有 |
| 柜內(nèi)插座配置（防濺插座個數(shù)） | 1個 |
| 固定底腳 | 可調(diào)高度75mm，無裸露螺紋 |
| 過濾器阻塞報警 | 有 |
|---|---|
| 過濾器破損報警 | 有 |
| 前窗玻璃防紫外線 | 有 |
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移動站：HR30-IIA2
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