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產(chǎn)品簡介
| 大氣壓 | 70~106 |
|---|---|
| 工作臺面中心振動靜位移µm(rms) | 2.9 |
| 主過濾器類別 | ULPA |
| 人員保護(hù) | 1~2 |
| 主過濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
| 下降氣流速度(m/s) | 0.28 |
| 流入氣流速度(m/s) | 0.55 |
| 頻率 | 50Hz±1Hz |
|---|
| 工作室內(nèi)表面材質(zhì) | SUS304 |
|---|---|
| 腳輪 | 有 |
| 過濾器阻塞報警 | 有 |
|---|---|
| 過濾器破損報警 | 有 |
| 前窗玻璃防紫外線 | 有 |
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移動站:HR50-IIA2
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