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產(chǎn)品簡介
采用世界超高效過濾器(效率99.9995%),潔凈度等級達到10級
| 大氣壓 | 70~106Kpa |
|---|---|
| 工作臺面中心振動靜位移µm(rms) | 1.3 |
| 主過濾器類別 | ULPA |
| 人員保護 | 4.1*100000 |
| 主過濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
| 下降氣流速度(m/s) | 0.32 |
| 流入氣流速度(m/s) | 0.58 |
| 外排風量(m3/h) | 1320 |
| 頻率 | 50±1Hz |
|---|
| 工作室內(nèi)表面材質 | SUS304 |
|---|---|
| 重量(Kg) | 280 |
| 腳輪 | 有 |
| 柜內(nèi)插座配置(防濺插座個數(shù)) | 1個 |
| 固定底腳 | 可調高度75mm,無裸露螺紋 |
| 過濾器阻塞報警 | 有 |
|---|---|
| 過濾器破損報警 | 有 |
| 前窗玻璃防紫外線 | 有 |
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移動站:HR40-IIB2
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