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  • 低能離子注入機(jī)
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2021/11/12 16:10:13

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產(chǎn)品簡介

低能離子注入機(jī)一:概述低能離子注入機(jī)可以通過離子源產(chǎn)生超低能量的離子束,在經(jīng)過二極磁鐵偏轉(zhuǎn)之后,過濾掉不同荷質(zhì)比的離子,只留下所需的離子種類和能量的離子束可以穿過

低能離子注入機(jī)詳細(xì)信息

低能離子注入機(jī)
一:概述

低能離子注入機(jī)可以通過離子源產(chǎn)生超低能量的離子束,在經(jīng)過二極磁鐵偏轉(zhuǎn)之后,過濾掉不同荷質(zhì)比的離子,只留下所需的離子
種類和能量的離子束可以穿過。束流在靶室位置的束流強(qiáng)度符合石墨烯等二維材料的注入特性。



二、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
輻照區(qū)域5*5cm
能量范圍100eV-2keV
 
束流強(qiáng)度均勻區(qū)域平均束流強(qiáng)度為幾十nA
離子能量選擇電磁鐵控制偏轉(zhuǎn),
離子種類Ar+,He+,N+,H+,O+  (P+可選)
極限真空度<1E-4Pa
工藝真空范圍5E-4Pa~5E-3Pa
真空漏率≤6.6×10-7 Pa.l/S
工作電源380v±5% 50HZ

 

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