| 參考價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品簡介
| 結(jié)構(gòu)型式 | 臥式，單管或多管系統(tǒng)自動(dòng)控制 |
| 適應(yīng)晶片尺寸 | 2-8″ |
| 送取片方式 | 自動(dòng)懸臂石英推拉舟，配合手動(dòng)取、放片方式。 |
| 溫度 | 1050℃ |
| 工作溫度 | 400℃~850℃連續(xù)可調(diào) |
| 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性 | 400℃~850℃≤±0.5℃/24h |
| 系統(tǒng)極限真空度 | 優(yōu)于1Pa |
| 抽速 | 抽限真空時(shí)間＜15Min |
| 工作壓力范圍 | 5Pa到1×105Pa連續(xù)可調(diào) |
| 供電電源 | 三相五線380V±10%，50Hz |
| 冷卻水 | 2~4Kgf/cm²，8L/min; |
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移動(dòng)站：石墨烯、碳納米管材料CVD設(shè)備
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