CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+雙溫區(qū)管式爐+抽氣系統(tǒng)組成 ，溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

這款CVD系統(tǒng)是由8路供氣系統(tǒng)KTL1700-1700雙溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成

KTL1700-1700 雙溫區(qū)管式爐:以1800型硅鉬棒和硅碳棒為加熱元件，有兩個加熱區(qū)，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，每個加熱區(qū)能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端裝有不銹鋼法蘭，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達(dá)到10-3 Pa，該爐為臥式，兩個溫區(qū)可以獨(dú)立控制、設(shè)置不同的溫度，使用方便，操作簡單，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。

（1）、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負(fù)荷低，使用壽命長。

（2）、采用的是熱彎技術(shù)，電阻均勻，使用壽命長

（3）、Lu冷端長度為210mm， 400X300X300爐子為260 ，一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低

（4）、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護(hù)硅鉬棒。

當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開

該氣氛管式爐可配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出

（1）、真空吸濾成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

（2）、采用*成型。

（3）、爐膛材料熱容低、熱傳導(dǎo)系數(shù)低，從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。

（4）、爐膛氧化鋁絲細(xì)而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強(qiáng)  

（5）、爐膛表面光潔、不易掉粉。

（全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）

1、移相觸發(fā)（帶軟啟動和限流功能）

2、限流功能：無論怎么樣設(shè)置升溫速率，我們電爐的二次電流始終被限制在170A以內(nèi)，有效的保護(hù)了設(shè)備。由于采用限流功能，高溫下可開爐門。如果您使用的電爐需要在升溫過程中對爐子的升溫速率進(jìn)行限制（例如：規(guī)定在1400℃后不

得超過3℃/min等）即采用非限流觸發(fā)器。升溫速率設(shè)置錯誤或者升溫速率過快、這時電流會非常大，設(shè)備會跳閘或燒壞。

3、軟啟動功能：開機(jī)時電流會慢慢增大，對加熱元件的沖擊較小，有利于加熱元件壽命的延長

4、保護(hù)功能：如果電流超過限制電流、觸發(fā)器會自動切斷觸發(fā)功能以切斷電流保護(hù)電爐。

1、變壓器電纜為純銅

2、變壓器聲音小

3、變壓器溫身低