CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。 

OTL-CVD-1200-1200CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+TL1200-S管式爐+真空系統(tǒng)組成OTL-CVD-1200-1200CVD系統(tǒng)以進口電阻絲瑞典（Canthal）為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和日本島電控溫儀表，能進行40段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。

(3)、電阻均衡、溫場均衡性好

(4)、加熱元件：瑞典Kanthal  A1 進口電阻絲 （電阻絲可承諾保修2年）

當電路過流或漏電時，空開會自動斷開

該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升  溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出真空度。

（2）、采用*成型。

（3）、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場

（4）、采用4周加熱，溫場更加均衡

  

（全部通過UL認證的進口電器）

 

 

 

采用宇電程序控溫儀表（標配）