CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

 KTL-CVD-1400單溫區(qū)CVD系統(tǒng)系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+KTL1400管式爐+真空系統(tǒng)組成。

（1）、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負(fù)荷低，使用壽命長。

（2）、采用的是熱彎技術(shù)，電阻均勻，使用壽命長

（3）、Lu冷端長度為210mm， 400X300X300爐子為260 ，一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。

（4）、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護(hù)硅鉬棒。

當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開

 該氣氛管式爐可配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出

（1）、真空吸濾成型的高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
（2）、采用*成型。
（3）、爐膛材料熱容低、熱傳導(dǎo)系數(shù)低，從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。
（4）、爐膛氧化鋁絲細(xì)而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強
（5）、爐膛表面光潔、不易掉粉。

（全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）