種頻率選件：1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz，可升級

±0.65% 基本精度和 120 m? 至 52 k? 阻抗范圍（10% 測量精度范圍）

測量參數(shù)：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1（1. 需要選件 001）

內(nèi)置直流偏置（選件 001）：0 V 至 ±40 V，0 A 至 ±100 mA

10.4 英寸彩色 LCD 觸摸屏可顯示 4 個通道和 4 條跡線

數(shù)據(jù)分析功能：等效電路分析、極限線測試

介電/磁性材料測量（選件 002） ：|εr|、εr&＃39;、εr&＃39;&＃39;、tanδ(ε)、|μr|、μr&＃39;、μr&＃39;&＃39;、tanδ(μ)

溫度特征測量（選件 007)和可靠的晶圓上測量（選件 010）功能
 
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