SpectraRay/4:光譜橢偏測(cè)量/分析軟件

SENDURO®全自動(dòng)光譜橢偏儀包括基于測(cè)量處方的僅在幾秒鐘內(nèi)即可完成的快速數(shù)據(jù)分析。橢圓儀的設(shè)計(jì)是為了便于操作：放置樣品，自動(dòng)樣品對(duì)準(zhǔn)，自動(dòng)測(cè)量和分析結(jié)果。在全自動(dòng)模式下使用光譜橢偏儀非常適合于質(zhì)量控制和研發(fā)中的常規(guī)應(yīng)用。

建模

測(cè)量參數(shù)可以模擬作為波長(zhǎng)、光子能量、倒數(shù)厘米、入射角、時(shí)間、溫度、薄膜厚度測(cè)量和其他參數(shù)的函數(shù)

自動(dòng)掃描

我們光譜橢偏儀的自動(dòng)掃描的選項(xiàng)具有預(yù)定義或用戶定義的模式、廣泛的統(tǒng)計(jì)以及數(shù)據(jù)的圖形顯示，如2D顏色、灰度、輪廓、+/-偏離平均值和3D繪圖。

交互模式：

• 設(shè)定測(cè)量參數(shù)并開(kāi)始薄膜厚度測(cè)量
• 通過(guò)從材料庫(kù)或從已有的散射模型中拖放來(lái)構(gòu)建模型
• 定義和改變參數(shù)以將計(jì)算的光譜與實(shí)測(cè)光譜擬合
• 交互式改進(jìn)以實(shí)現(xiàn)模型
• 通過(guò)從預(yù)定義或定制的模板中進(jìn)行選擇，將結(jié)果作為word文檔報(bào)告輸出
• 將所有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、協(xié)議和記錄保存在同一個(gè)實(shí)驗(yàn)文件中

配方模式：

SpectraRay/4配方模式的優(yōu)點(diǎn)是兩步操作

• 選擇和
• 從材料庫(kù)執(zhí)行預(yù)定義的配方。

該配方包括厚度測(cè)量參數(shù)、模型、擬合參數(shù)和報(bào)告模板。

SpectraRay/4，SENTECH所有的光譜橢偏測(cè)量軟件，包括數(shù)據(jù)采集、建模、擬合和橢偏測(cè)量、反射和傳輸數(shù)據(jù)的擴(kuò)展報(bào)告。它支持可變角度、多實(shí)驗(yàn)和組合光度測(cè)量。SpectraRay/4包括基于SENTECH厚度測(cè)量和文獻(xiàn)數(shù)據(jù)的龐大的材料數(shù)據(jù)庫(kù)。大量的散射模型允許對(duì)幾乎任何類型的材料建模。

SpectraRay/4提供了用戶友好的面向工作流的接口來(lái)操作SENTECH光譜橢偏測(cè)量工具以及建模、擬合和表示橢偏測(cè)量數(shù)據(jù)的綜合工具集。用戶界面結(jié)合了面向操作人員的配方模式以及用于交互式測(cè)量和建模的高級(jí)模式。

SpectraRay/4具有單軸和雙軸各向異性材料測(cè)量、薄膜厚度測(cè)量和層測(cè)量的功能。該軟件可處理樣品效應(yīng)，如去極化，非均勻性，散射(米勒矩陣)，以及背面反射。

SpectraRay/4包括用于數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出(包括ASCII)、文件管理、光譜的算術(shù)操作、顯示、打印和報(bào)告輸出(Word文件格式*.doc)的通用光譜橢偏測(cè)量軟件包的所有實(shí)用程序。腳本程序使得它非常靈活，適用于自動(dòng)化日常測(cè)量，為苛刻的應(yīng)用所研發(fā)，并可控制第三方硬件，如傳感器，加熱臺(tái)，樣品電池或低溫恒溫器。