TF500/TF600 適合*研發(fā)和試生產(chǎn)的全功能系統(tǒng)

HHV TF500及TF600系統(tǒng)設計具有高級工藝能力。系統(tǒng)配置可選擇多種腔室尺寸和工藝附件，以精確的符合用戶需求。這兩個型號的系統(tǒng)都可以安裝多個鍍膜源，也都支持離子束處理選項。有一系列預進樣室（Load Lock）和樣品操縱裝置可供選擇，以提高真空鍍膜效率。

系統(tǒng)配置不銹鋼真空腔室，高真空泵安裝在腔室后方。工藝附件布局采用特殊設計，向每個客戶提供滿意適配化的方案。工藝附件包括熱阻及電子束蒸發(fā)源、直流及射頻濺射源、用于工件刻蝕或輔助沉積的離子源。系統(tǒng)可以同時配置熱阻、電子束及磁控濺射源。濺射系統(tǒng)可以配置成向上或向下濺射的結構。工件臺選項包括加熱、冷卻、偏壓和預進樣操作等。

系統(tǒng)控制選項包括穩(wěn)定的PLC真空控制系統(tǒng)配合手動操作的工藝附件的簡單模式，或者計算機集成控制的自動模式。