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JEBG大功率電子槍?電源

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更新時(shí)間:2021-07-16 21:15:46瀏覽次數(shù):917

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日本電子JEOL大功率電子槍?電源EBG-300UA,JEBG-1000UB,JEBG-3000UB,是用來(lái)在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源,能在寬幅塑料及大面積玻璃基板上持續(xù)、高速率地鍍膜,還可應(yīng)用于電子束熔煉,用于高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉。

詳細(xì)介紹

日本電子JEOL大功率電子槍?電源EBG-300UA,JEBG-1000UB,JEBG-3000UB

JEBG系列大功率電子槍是用來(lái)在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源,能在寬幅塑料及大面積玻璃基板上持續(xù)、高速率地鍍膜,還可應(yīng)用于電子束熔煉,用于高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉。

產(chǎn)品規(guī)格:

型號(hào)

EBG-300UA

JEBG-1000UB

JEBG-3000UB

輸出功率

30kW

(20kV, 1.5A)

100kW

(30kV, 3.4A)

300kW

(40kV, 7.5A)

偏轉(zhuǎn)角

Max. ±30°

掃描范圍

X, Y 軸

掃描頻率

300Hz

200Hz

200Hz

(300Hz: 選配)

適用電源

ST-30BE2

JST-100C

JST-300CHR

產(chǎn)品特點(diǎn):

JEBG系列大功率電子槍是用來(lái)在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源,能在寬幅塑料及大面積玻璃基板上持續(xù)、高速率地鍍膜,還可應(yīng)用于電子束熔煉,用于高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉。


電子束能大范圍地快速掃描,通過(guò)專用的控制裝置和軟件,能生成各種電子束照射圖形和區(qū)域。由于能夠在各個(gè)照射位置上設(shè)定掃描、停留時(shí)間、輸出功率及電子束形狀,因而能夠控制熔融面和膜厚分布。


用途

· 真空蒸鍍
阻隔膜、保護(hù)膜、電極膜、導(dǎo)電膜、磁性膜等薄膜的形成。

· 真空熔解
Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉。
提煉太陽(yáng)能電池的多晶硅

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