日本JEOL高頻感應(yīng)等離子體發(fā)生器 TP

通過(guò)高頻感應(yīng)加熱產(chǎn)生大約1萬(wàn)度的熱等離子體，經(jīng)過(guò)物理/化學(xué)反應(yīng)過(guò)程，能合成納米顆粒及厚膜(鍍膜)。

· 原理特征

· 在大氣壓或者接近大氣壓的低氣壓環(huán)境下，將高頻電源集中于局部，通過(guò)電磁感應(yīng)使各種氣體在瞬間變成１萬(wàn)度左右的超高溫等離子體。
熱等離子體屬于電弧放電，往等離子體中充入原料（粉末、氣體或液體），經(jīng)過(guò)蒸發(fā)、熔融、分解、化學(xué)反應(yīng)等，能進(jìn)行納米顆粒的合成、微細(xì)粉末的球化及反應(yīng)、鍍膜、有害氣體的分解等。

· 與直流(DC)電弧放電相比能獲得大容積的等離子體。

· 氣體流速比直流(DC)等離子體相比要慢10倍，原料可以被充分地加熱、反應(yīng)。

· 由于沒(méi)有電極，也就沒(méi)有電極材料的污染，整個(gè)過(guò)程非常純凈。

· 產(chǎn)品系列（額定輸出功率）：6kW型，35kW型，100kW型，200kW型

· *300kW型也已經(jīng)生產(chǎn)

· 等離子體炬

· 每個(gè)高頻振蕩器配有專用的等離子體炬。

· 能產(chǎn)生體高密度等離子的體炬直徑及結(jié)構(gòu)

· 兩層冷卻水管結(jié)構(gòu)，內(nèi)管使用陶瓷管，與石英管相比耐久性高

· ※ (已取得)、在低壓～大氣壓狀態(tài)下能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地運(yùn)行。

· 目前還在開(kāi)發(fā)將直流 (DC) 和高頻 (RF)結(jié)合的混合式等離子體炬，混合式具有以下特征:

· 將直流等離子體射流疊加在高頻等離子體的上方，這樣就會(huì)對(duì)高頻等離子體有輔助作用。

· 制作納米顆粒時(shí)，由于原料能用直流等離子體預(yù)熱，可以進(jìn)行高效率地蒸發(fā)（微細(xì)化）。

· 系統(tǒng)

· 能根據(jù)用途和目的提供納米顆粒合成裝置、鍍膜裝置、試驗(yàn)用裝置等。

*可以提供熱等離子體發(fā)生器（成套設(shè)備）