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BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內置型等離子源

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更新時間：2021-07-16 21:06:30瀏覽次數(shù)：311

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產(chǎn)品簡介

日本JEOL BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內置型等離子源，安裝在真空室內產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結合的等離子體輔助沉積技術（離子鍍），能提高光學薄膜、保護膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對清洗基板和表面改性也很有效。

詳細介紹

BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內置型等離子源

安裝在真空室內產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結合的等離子體輔助沉積技術（離子鍍），能提高光學薄膜、保護膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對清洗基板和表面改性也很有效。

· 產(chǎn)品規(guī)格

放電輸出

3.2kW (160V, 20A)

輔助輸出功率

2kW (200V, 10A)

工作壓力

8×10-3 ～ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 氣氛)

放電氣體(Ar)

8 ～ 20mL/分

適用控制電源

BS-92040CPPC

或

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