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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日本JEOL BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子源，安裝在真空室內(nèi)產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結(jié)合的等離子體輔助沉積技術(shù)（離子鍍），能提高光學(xué)薄膜、保護(hù)膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對(duì)清洗基板和表面改性也很有效。

詳細(xì)介紹

BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子源

安裝在真空室內(nèi)產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結(jié)合的等離子體輔助沉積技術(shù)（離子鍍），能提高光學(xué)薄膜、保護(hù)膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對(duì)清洗基板和表面改性也很有效。

· 產(chǎn)品規(guī)格

放電輸出	3.2kW (160V, 20A)
輔助輸出功率	2kW (200V, 10A)
工作壓力	8×10-3 ～ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 氣氛)
放電氣體(Ar)	8 ～ 20mL/分
適用控制電源	BS-92040CPPC

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BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子源

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