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詳細(xì)介紹
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)主要特性：
●堅固、可靠和安全傳送
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)延續(xù)了上一代機(jī)型的堅固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓，且薄片，Warped晶圓也能安全搬送。
●人機(jī)工程學(xué)設(shè)計，操作方便
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機(jī)型。
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)宏觀觀察位置的更優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作性。
自動300 mm晶圓檢查系統(tǒng) AL120-12 技術(shù)規(guī)格
型號 | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圓尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm | |
卡盒數(shù) | 單盒（裝載、卸載兼用） | |
卡盒設(shè)置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無 |
搬運順序 | 表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查 | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準(zhǔn) | 非接觸式中心環(huán) | |
晶圓搬運方式 | 真空吸附機(jī)械搬運 | |
適用顯微鏡 | 半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L | |
應(yīng)用環(huán)境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz ，真空-67～-80 Kpa | |
載物臺 | XY手動吸附載物臺，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) | |
重量（不包括顯微鏡） | 約360 kg | 約270 kg |
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