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GSL-1100X-8.5-SR -III1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5管式爐

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更新時間:2023-02-01 08:58:23瀏覽次數(shù):377

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-8.5-SR-III是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)滑軌爐,其爐管外徑為8.5O.D的滑軌真空管式爐,multi-gasfedthroughSStubeforLPCVDprocessing,它可以在6的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下).它溫度1100C,采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度+/-1C

詳細(xì)介紹

GSL-1100X-8.5-SR-III是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)滑軌爐,其爐管外徑為 8.5" O.D的滑軌真空管式爐, multi-gas fedthrough SS tube for LPCVD processing, 它可以在6“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 它溫度 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度+/-1°C。

技術(shù)參數(shù)

殼體結(jié)構(gòu)

  • 雙層殼體,循環(huán)風(fēng)冷.
  • 爐體表面溫度< 70 ºC
  • 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能
  • 滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便放取樣品
  • 三個加熱區(qū)實(shí)現(xiàn)更長的溫度區(qū)和一個特定的溫度梯度
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

輸入電壓

220VAC 單相

功率

8kW

石英管尺寸

  • 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 51" Length
  • 儀器中包含一根石英管,以下尺寸可以作為選用

加熱元件

NiCrAl 電阻絲

工作溫度

  • 工作溫度: 1100°C
  • 連續(xù)工作溫度: 400 -1000°C
  • 加熱冷卻速率: 10°C/min

加熱區(qū)

  • 總加熱區(qū)長度:900 mm (36")
  • 三個溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)
  • 恒溫區(qū): 500 mm (三個溫區(qū)可以設(shè)置同樣的溫度)

溫度控制器

  • 三個溫度控制器,采用 PID 方式,通過可控硅來進(jìn)行溫度控制,可以設(shè)置30段升降溫程序
  • 設(shè)有一個額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)
  • 雙K型熱電偶 安裝在儀器里
  • 控溫精度: +/-1°C
  • 軟件接口模塊和PC機(jī)不在標(biāo)配內(nèi)需額外訂購
    |

密封法蘭和進(jìn)氣接口

  • 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達(dá)到 (機(jī)械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在內(nèi)
  • 右端法蘭上設(shè)有一個鎧裝熱偶檢測口和KF25真空接口. 標(biāo)配內(nèi)包括KF25真空擋板閥和1.2 米 KF-40 不銹鋼波紋管如需對爐膛溫度進(jìn)行校準(zhǔn)請訂購36" 長 x 1/4"dia K 型熱電偶
  • 包括一個石英管堵,設(shè)備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射
  • 左側(cè)法蘭安裝在可移動的滑軌機(jī)構(gòu)上. 法蘭上設(shè)有五路進(jìn)氣接口每個進(jìn)氣口采用精密不銹鋼針閥密封.
  • 左端密封法蘭上裝有4片磨砂石英擋片用于阻止熱輻射. P建議采用水冷機(jī)組,為了美好的未來,請節(jié)約每一滴用水

產(chǎn)品尺寸

  • 爐體: 1000L x 700 W x 1060 H mm
  • 滑軌長度: 600mm L
  • 注意: 你必須把爐體和滑動機(jī)構(gòu)放置在同一基準(zhǔn)面上。

凈重

354Kg

包裝尺寸

70" x 70" x 65"

運(yùn)輸重量

354Kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如密封圈,爐管,加熱元件等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

CE certified


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