輸入電源

208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W

樣品室

• 石英腔體尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H
• 帶有不銹鋼法蘭

襯底加熱器

• 載樣臺的尺寸為60 mm,可加熱到600度
• 一個(gè)30段可編程溫度控制器，控溫精度±1ºC
• 推薦升溫速率:15°C/m
• 樣品臺的高度可以調(diào)節(jié)
  

真空配置

• 每個(gè)配件包含在內(nèi)，可立即使用

• 儀器中配有一臺2L/S雙旋片機(jī)械泵，該機(jī)械泵進(jìn)氣口安裝有儲氣球，防止泵油的回流，出氣口安裝有立式油污過濾器，過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，和減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康。
• 高純度金箔靶

進(jìn)氣口

有一不銹鋼針閥安裝在儀器上，可以通入氬氣，能實(shí)現(xiàn)更好的等離子涂層

靶材

• 標(biāo)配靶材
• 包含：4N purity Gold foil: 57 mm dia. x 0.12 mm

外形尺寸

L480mmx W320mm x H150mm

運(yùn)輸重量

160Lbs with crating

凈重

20 kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)

質(zhì)量認(rèn)證

Certified