輸入電壓

220V 50/60 Hz

輸入功率

< 2000W (包括真空泵)

輸出

• 等離子濺射鍍膜:1600VDC，電流為50mA
• 蒸碳鍍膜:10VAC，電流10A

反應(yīng)腔體

石英管;60 mm Dia. x 110mmH

樣品臺

• 一個直徑為50mm的圓形樣品臺
• 鍍膜區(qū)域直徑為：45mm

真空配置

• 儀器中包含有一直聯(lián)式雙旋機械泵，可使反應(yīng)腔體真空度達到10-2 torr
• 用一個KF25的波紋管把真空泵和儀器相連接
• 為了得到更好的真空度可以選購分子泵，可使腔體內(nèi)的真空度達到10-5 torr
  

進氣口

有一不銹鋼針閥安裝在儀器上，可以通入各種氣體，可以產(chǎn)生不同元素的等離子體，以滿足不同的實驗需要

靶材 & 碳源

• 儀器中包含一50 mm dia. x 0.12 mm的金靶
• 10片碳纖維作為碳蒸發(fā)源

儀器外型尺寸

L360mm x W300mm x H380mm

凈重

50 kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護

質(zhì)量認證

CE Certified