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OTF-1200X- S50- 2F 1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)

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更新時間:2023-01-29 08:53:25瀏覽次數(shù):363

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產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃

詳細介紹

OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃左法蘭上安裝一個數(shù)字式真空顯示計,右法蘭上安裝有一KF-25接口,可以與機械泵相連接(抽速為226L/m)。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭,使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序,其控溫精確度為+/- 1 °C 。

技術參數(shù)

高溫爐

殼體

  • 采用雙層殼體
  • 爐膛采用多晶氧化鋁纖維,減小能量損失
  • 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃美國進口的高溫氧化鋁涂層材料提高反射率及設備的加熱效率和爐膛潔凈度,同時延長儀器的使用壽命

功率

1.75KW

電壓

AC -220V

溫度

  • 工作溫度:1200℃(< 1hr
  • 連續(xù)工作溫度1100
  • 升溫速率 <= 10C/min

爐管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加熱區(qū)

  • 加熱區(qū)長度: 8" (200mm)
  • 恒溫區(qū)長度: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 900 °C

溫控系統(tǒng)

  • PID30段程序化控溫
  • 控溫精度: +/- 1

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,使其延長儀器使用壽命)

兩路混氣系統(tǒng)

  • 兩個浮子流量計量程為16 100mL/min
  • -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)
  • 三個機械壓力表:-0.1-0.15 MP
  • 混氣箱上安裝有一不銹鋼針閥
  • 后端裝有φ6.35卡套接頭,無需通電
  • 外型尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7").
  • 凈重: 14 lbs.

真空法蘭和配件




標準真空配件:

  • 一個數(shù)字式真空顯示計
  • 一個φ6.35的卡套接頭
  • 兩個KF25轉(zhuǎn)接頭
  • 一個600mm的不銹鋼波紋管
  • 可選法蘭:本公司生產(chǎn)的帶鉸鏈式法蘭
  • 可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換

真空泵

  • 規(guī)格: 2XZ-2雙旋真空泵
  • 抽氣速率:120 liter/m
  • 功率:1/2HP 375W
  • 油箱容積: 1000ml

產(chǎn)品凈重

100 lbs

產(chǎn)品尺寸

  • 爐體:340 x 300 x 400mm
  • 真空泵:440 x 160 x 300mm
  • 混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm

運輸重量

200lbs

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包括爐管、硅膠O型圈和加熱元件等損耗件)

質(zhì)量認證

CE certified


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