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南通華林科納半導體設備有限公司
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拋光液供液系統(tǒng)//拋光液供酸系統(tǒng)//拋光液供液設備//拋光液供酸設備設備功能1.提供拋光液和表面活性劑供應緩存桶,從而保證設備工藝流量穩(wěn)定;2.提供溫度,PH值控制,以滿足拋光設備的工藝需求;3.滿足stock slurry循環(huán)使用需求;特點:1.所有Tank箱體采用SUS304框架+米黃PVC 保管,需配置排氣,排液,排漏以及漏液檢測報警
拋光液供液系統(tǒng)//拋光液供酸系統(tǒng)//拋光液供液設備//拋光液供酸設備 設備功能 1.提供拋光液和表面活性劑供應緩存桶,從而保證設備工藝流量穩(wěn)定; 2.提供溫度,PH值控制,以滿足拋光設備的工藝需求; 3.滿足stock slurry循環(huán)使用需求; 特點: 1.所有Tank箱體采用SUS304框架+米黃PVC 保管,需配置排氣,排液,排漏以及漏液檢測報警。 2.Tank材質采用NPP或PVDF以上,管道使用PFA,選用材料對slurry無顆粒和金屬污染(包括Pump內部與Slurry接觸部分); 3.Stock slurry tank配置chiller(ORION CHILLER)和heater, 4.Tank內的 Slurry 以及Surfactant處于常時循環(huán)狀態(tài), 供應設備管路末端有壓力表; 5.為檢測Tank內 Slurry 以及Surfactant的容量(Level), 配置***個**液位傳感器; 6.所有Tank配置水槍,同時slurry桶上部能開啟,以方便沖洗Tank。 7.所有的 Tank內要配置溫度和PH sensor,同時需要將數據同步傳送給設備主機; 8.Tank使用控制面板進行顯示和操作控制。 供液泵使用磁力泵或磁浮泵,滿足現(xiàn)場實際揚程,流量等能力需求。 9. 每個tank外部供應管路配置有自動配送閥并由設備自我控制。 拋光液供液系統(tǒng)//拋光液供酸系統(tǒng)//拋光液供液設備//拋光液供酸設備可以關注南通華林科納半導體設備有限公司,
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