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掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）為掩膜版、掩膜版保護(hù)膜以及基板（襯底）制造工藝，提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù)。該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1μm 的...
Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS)，專為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測(cè)量而設(shè)計(jì)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓、薄膜及光罩檢測(cè)，也可用于顯示市...
Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀，是一款基于“膠帶粘取"采樣技術(shù)的表面污染檢測(cè)工具，可通過(guò)間接測(cè)量方式識(shí)別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的專用 ...
Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀，專為潔凈室顆粒沉積速率測(cè)量而研發(fā)，支持秒級(jí)間隔的數(shù)據(jù)采集，精準(zhǔn)測(cè)量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng)，...
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