賽默飛 MICROLAB 350場(chǎng)發(fā)射俄歇電子譜儀是一款高性能的，具有高靈敏度和高能量分辨率掃描俄歇電子能譜儀（AES）。 SEM分辨率<7納米和掃描俄歇映射（SAM）分辨率<12納米。
- 二次電子映射（SEM）在<7納米的分辨率
- 在<12納米的分辨率掃描俄歇映射（SAM）
- 高靈敏度
- 球形部門分析儀允許高能量分辨率為：
- 化學(xué)狀態(tài)確定
- 反射電子能量損失譜（EELS）
- 硅摻雜劑的測(cè)量
- Multitechnique功能，包括：
- X射線光電子能譜（XPS）
- 能量色散X射線光譜儀（EDX）
- 背散射電子檢測(cè)
- FIB
- 準(zhǔn)備的設(shè)施，包括：
- 骨折舞臺(tái)
- 供暖/供冷期
- 蒸發(fā)階段