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半導(dǎo)體微電子行業(yè)制程以及生產(chǎn)設(shè)備與空氣中氣體化學(xué)分子污染物接觸產(chǎn)生那些后果？

時(shí)間：2025-9-15
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　　半導(dǎo)體微電子行業(yè)制程以及生產(chǎn)設(shè)備與空氣中氣體化學(xué)分子污染物接觸產(chǎn)生那些后果？
 
　　把晶圓、LCD或者OLED的基板長(zhǎng)時(shí)間暴露在潔凈室大環(huán)境中會(huì)導(dǎo)致空氣中化學(xué)氣態(tài)污染物粘附在基本表面，導(dǎo)致大幅度降低產(chǎn)品良率以及產(chǎn)品性能，增加成本，因此必須祛除揮發(fā)性有機(jī)、無(wú)機(jī)化合物以及空氣中其它顆粒物


 

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