5
氣態(tài)化學污染物危害性以及解決方案
氣態(tài)化學污染物危害性以及解決方案
1、半導體行業(yè)0.25微米生產(chǎn)工藝中氣態(tài)化學污染物的濃度必須控制<5ppt,如果氣態(tài)污染物濃度>5ppt導致半導體層間結(jié)合失效;導致HEPA過濾器降解，比如濾料釋放出硼;導致兩道制程之間的結(jié)合界面高電阻;導致晶元或者光學透鏡表面沉積霧狀。
2、依據(jù)行業(yè)環(huán)境控制流程可以在新風系統(tǒng)、空氣循環(huán)系統(tǒng)、末端FFU或者局部自動化設備上的EFU配置化學過濾器。
3、優(yōu)佳的氣態(tài)污染物解決方案可以起到如下作用:
延長維護周期;增強產(chǎn)品的可靠性和壽命;強化制程控制、增強產(chǎn)品優(yōu)良率;提高電子和機械的性能;優(yōu)化生產(chǎn)控制。
嘉鱼县|
临安市|
彭山县|
镇巴县|
丰顺县|
海兴县|
扶沟县|
黄平县|
顺昌县|
康定县|
若尔盖县|
江源县|
延津县|
舞阳县|
房山区|
玉龙|
文水县|
曲阳县|
乐至县|
剑阁县|
射阳县|
图片|
昭觉县|
广南县|
丹阳市|
六枝特区|
华宁县|
沁水县|
福泉市|
华容县|
油尖旺区|
普宁市|
观塘区|
高碑店市|
高台县|
平乡县|
广州市|
上思县|
皮山县|
靖宇县|
上饶县|