ICP-OES等離子體發(fā)射光譜儀裝備了超高靈敏度的光電倍增管，在全量程范圍內(nèi)使檢測器的動態(tài)范圍能鑒別出成分的微小的差別。曲面的第二個窄縫能清楚地分離出相鄰的譜線，這一點對包括高含量的合金成分分析在內(nèi)進行高精度分析特別。采用原子發(fā)射光譜學的分析原理，樣品經(jīng)過電弧或火花放電激發(fā)成原子蒸汽，蒸汽中原子或離子被激發(fā)后產(chǎn)生發(fā)射光譜，發(fā)射光譜經(jīng)光導纖維進入光譜儀分光室色散成各光譜波段，根據(jù)每個元素發(fā)射波長范圍，通過光電管測量每個元素的譜線，每種元素發(fā)射光譜譜線強度正比于樣品中該元素含量，通過內(nèi)部預制校正曲線可以測定含量，直接以百分比濃度顯示。
　　光源發(fā)出的光被分束器（類似半透半反鏡）分為兩束，一束經(jīng)透射到達動鏡，另一束經(jīng)反射到達定鏡。兩束光分別經(jīng)定鏡和動鏡反射再回到分束器，動鏡以一恒定速度作直線運動，因而經(jīng)分束器分束后的兩束光形成光程差，產(chǎn)生干涉。ICP-OES等離子體發(fā)射光譜儀所用的光學元件少，沒有光柵或棱鏡分光器，降低了光的損耗，而且通過干涉進一步增加了光的信號，因此到達檢測器的輻射強度大。初步判斷屬何類化合物，然后查找該類化合物的標準紅外譜圖，待測化合物的紅外光譜與標準化合物的紅外光譜一致，即兩者光譜吸收峰位置和相對強度基本一致時，則可判定待測化合物是該化合物或近似的同系物。