SF-1U，SF-2U，流量顯示模塊

顯示

LCD 6位數(shù)字式顯示(切換顯示檢測(cè)流量?檢測(cè)時(shí)間?溫度?設(shè)定氣壓等)

自動(dòng)測(cè)量功能

通過(guò)AUTO模式進(jìn)行2?10次的自動(dòng)測(cè)量以及平均值計(jì)算(可以調(diào)出上次存儲(chǔ)數(shù)據(jù) 　通過(guò)電源OFF消除電源)

使用環(huán)境溫度

5?40℃ 精度的確保范圍(15?30℃)

外部輸入輸出

以RS-232C 為準(zhǔn)

電源

AC適配器ー(DC7Ｖ)驅(qū)動(dòng)

VP-1U，流量測(cè)量模塊

流量檢測(cè)范圍

0.2?10mL/min

精度

0.5%(±1%)0.2?2mL/min(2?10mL/min)

對(duì)象氣體

N2、空氣、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8等 注)水溶性氣體?腐蝕性氣體不能檢測(cè)

使用環(huán)境溫度

5?40℃　精度的確保范圍(15℃?35℃)

外部輸入輸出

以RS-232C為準(zhǔn)

VP-2U，流量測(cè)量模塊

流量檢測(cè)范圍

2?100mL/min

精度

0.5%(±1%)2?20mL/min(20?100mL/min)

對(duì)象氣體

N2、空氣、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8等 注)水溶性氣體?腐蝕性氣體不能檢測(cè)

使用環(huán)境溫度

5?40℃　精度的確保范圍(15℃?35℃)

外部輸入輸出

以RS-232C為準(zhǔn)

VP-3U，流量測(cè)量模塊

流量檢測(cè)范圍

20?1000mL/min

精度

0.5%(±1%)20?200mL/min(200?1000mL/min)

對(duì)象氣體

N2、空氣、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8等 注)水溶性氣體?腐蝕性氣體不能檢測(cè)

使用環(huán)境溫度

5?40℃ 精度的確保范圍(15℃?35℃)

外部輸入輸出

以RS-232C為準(zhǔn)

VP-4U，流量測(cè)量模塊

流量檢測(cè)范圍

0.2?10 L/min

精度

0.5%(±1%)0.2?1 L/min(1?10 L/min)

對(duì)象氣體

N2、空氣、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8等　注)水溶性氣體?腐蝕性氣體不能檢測(cè)

使用環(huán)境溫度

5?40℃精度的確保范圍(15℃?35℃)

外部輸入輸出

以RS-232C為準(zhǔn)