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產(chǎn)品簡介

Horiba SEC-E40 質(zhì)量流量控制器、流量計(jì)
低成本，模式輸出，0-10SLPM
型號: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可選高精度數(shù)字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，

詳細(xì)介紹

Horiba SEC-E40 質(zhì)量流量控制器、流量計(jì)

低成本，模式輸出，0-10SLPM

型號: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.

可選高精度數(shù)字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，

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Horiba SEC-E40 質(zhì)量流量控制器、流量計(jì)被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、實(shí)驗(yàn)室、環(huán)境監(jiān)測儀中。尤其在擴(kuò)散爐中得到了廣大客戶的支持。適用于從微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。

概要

· 適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制

· 適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪。

· 低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號： SEC-E40MK3、SEC-E50MK3

Horiba SEC-E40 質(zhì)量流量控制器、流量計(jì)

技術(shù)規(guī)格

型號	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	SEC-E40、SEC-E40MK3	SEC-E50、SEC-E50MK3
	SEF- (質(zhì)量流量計(jì))	SEF-E40	E50
適用氣體種類*1		非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號		非通電時(shí)　關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		2?* F.S.
流量測量范圍 (適于SEF系列)		0?* F.S.
響應(yīng)速度		1秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.
直線性		±0.5% F.S.
反復(fù)性		±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)		10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度		5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號		0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?* F.S.
流量輸出信號		0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2		1/4SWL 類型

型號	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	SEC-E60	SEC-E70	SEC-E80
	SEF- (質(zhì)量流量計(jì))	E60	E70	E80
適用氣體種類*1		N₂、O₂、Air、H₂、Ar、C₃H₈、CH₄、C₄H₁₀		N₂、O₂、Air、H₂
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼
閥門型號		非通電時(shí)　關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		50/100 SLM	200 SLM	300/500 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		5?* F.S.
流量測量范圍 (適于SEF系列)		0?* F.S.
響應(yīng)速度		1秒以內(nèi)(T98)		2秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.		±2% F.S.
直線性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
反復(fù)性		±0.5% F.S.		±1% F.S.
工作差壓值值(適于SEC系列)		100?300kPa(d)	200?350kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		350kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10^-7Pa?m³/s(He)以下		450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)
使用環(huán)境溫度		5?45℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號		0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?* F.S.
流量輸出信號		0?5VDC(zui小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源		＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2		3/8SWL 類型		1/2SWL 類型

*1:關(guān)于記載以外的氣體種類，請另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：zui大值300kPa(G)；SEC-70/80：zui大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。