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芯片,是現(xiàn)代電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和核心。無(wú)論是手機(jī)、電腦和家電,還是5G、物聯(lián)網(wǎng)、云計(jì)算,都是基于芯片技術(shù)的不斷突破發(fā)展而來(lái)。
在越來(lái)越復(fù)雜的國(guó)際環(huán)境下,科技領(lǐng)域的較量已是明顯趨勢(shì),國(guó)產(chǎn)替代將是半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展主線。同時(shí),在“新基建”“新經(jīng)濟(jì)”浪潮的推動(dòng)下,國(guó)內(nèi)科技企業(yè)對(duì)于芯片的需求也隨著行業(yè)發(fā)展和生態(tài)環(huán)境的變化,變得越來(lái)越強(qiáng)勁。

半導(dǎo)體的制造是在一級(jí)潔凈度(每立方英尺的空氣中只能有一粒直徑小于0.3微米的灰塵)的環(huán)境里進(jìn)行的,可見(jiàn)半導(dǎo)體元件生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)于潔凈度的要求有多么嚴(yán)格。在芯片生產(chǎn)過(guò)程中,影響其品質(zhì)的不止有空氣,還有水質(zhì)。因此我國(guó)在大力發(fā)展半導(dǎo)體的同時(shí),對(duì)其用水水質(zhì)也提出了更高的要求,可以說(shuō)超純水設(shè)備成為了半導(dǎo)體行業(yè)重要推動(dòng)力。今天我們就一起看看芯片超純水設(shè)備可去除原水中的哪些雜質(zhì)吧。
1、溶解的無(wú)機(jī)鹽
有鈉、鈣、鎂等鹽類,溶于水形成正離子。含有這些離子的水沖洗半導(dǎo)體器件時(shí),會(huì)使這些不純物擴(kuò)散到集成電路表面,造成短路。過(guò)去除去水中無(wú)機(jī)鹽是將水蒸餾,但就是三次重蒸餾水,水的電阻率僅3兆歐/厘米,水中仍含有大于01ppm的NaCl?,F(xiàn)今用反滲透法去離子,可有效去除這些雜質(zhì)。
有鈉、鈣、鎂等鹽,溶于水中形成正離子。當(dāng)用含有這些離子的水清洗半導(dǎo)體器件時(shí),這些雜質(zhì)會(huì)擴(kuò)散到集成電路表面,導(dǎo)致短路。過(guò)去用水蒸餾去除水中的無(wú)機(jī)鹽,但水的電阻率只有3兆歐/厘米,水中仍含有超過(guò)01ppm的氯化鈉。目前,反滲透去離子可以有效地去除這些雜質(zhì)。
2、溶解的有機(jī)物
有工業(yè)排出污物、洗滌劑、生物分解物和微生物的新陳代謝產(chǎn)物。這些可以用活性炭吸附方法除去。炭床要置于離子交換樹(shù)脂之前,因活性炭本身會(huì)帶來(lái)雜質(zhì)。必須注意,進(jìn)入樹(shù)脂床的水要先除去有機(jī)物,因?yàn)殡x子交換樹(shù)脂易被有機(jī)物污染。反滲透可除去分子量大于300的有機(jī)物,分子量小于300的有機(jī)物可除去90%。
3、粒子物質(zhì)
很多地方都容易產(chǎn)生,如炭床、樹(shù)脂床、深層過(guò)濾等一些設(shè)備。雖然用一些方法使達(dá)到高電阻率,但沒(méi)有有效地除去粒子物質(zhì)。這就會(huì)使半導(dǎo)體器件出現(xiàn)針孔、短路、斷路、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷。除去粒子物質(zhì),只有用膜過(guò)濾,一般標(biāo)準(zhǔn)用孔徑為0.45微米的微孔濾膜,特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜,除去膠體鐵、膠體硅和細(xì)菌等。
超純水設(shè)備作為芯片行業(yè)生產(chǎn)的重要基石,是芯片制造前端的重中之重。萊特萊德超純水設(shè)備改良了傳統(tǒng)工藝階段供水的缺點(diǎn),配備了濃水置換專業(yè)技術(shù),防止膜系統(tǒng)受到微生物污染。通過(guò)*的技術(shù),提高系統(tǒng)回收率,降低能耗和運(yùn)行成本??梢杂行コ械碾s質(zhì)、重金屬離子、細(xì)菌等有害物質(zhì),實(shí)現(xiàn)大量連續(xù)供應(yīng)超純水。


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