一，德國(guó)LEYBOLD萊寶真空泵SV65B特征及用途
低溫冷凝泵是目前所有的真空泵中抽速大、工作壓強(qiáng)范圍寬、極限真空度高(氣氦制冷機(jī)低溫冷凝泵可以達(dá)到10-10Pa,
液氦型低溫冷凝泵可以達(dá)到10-13Pa)的真空泵，而且可以抽除所有氣體，能獲得全無(wú)油清潔真空。由于具有這些突出的優(yōu)點(diǎn)，
氣氦制冷機(jī)低溫冷凝泵在需要大抽速、超高清潔真空的半導(dǎo)體、新型顯示器件及其他高科技研究和產(chǎn)業(yè)中獲得了Et益廣泛的應(yīng)用。
低溫冷凝泵的缺點(diǎn)是價(jià)格很高，運(yùn)行中需要再生而不能*連續(xù)抽氣。
擴(kuò)散泵系統(tǒng)是比較常用的高真空系統(tǒng)，一般可以獲得10-1～10-5Pa的工作真空，使用特別設(shè)計(jì)的擴(kuò)散泵及采用性能良好的擴(kuò)散泵油，
再在泵的人口端使用擋油板和液氮冷阱，加以充分的烘烤除氣措施，可以獲得10-7Pa的極限真空。擴(kuò)散泵系統(tǒng)的特點(diǎn)是對(duì)各種氣體都能抽除，
適宜長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作，擴(kuò)散泵沒(méi)有噪聲，價(jià)格比較低。缺點(diǎn)是開(kāi)啟或停止系統(tǒng)工作很耗時(shí)，工作效率低，油污染嚴(yán)重。
用機(jī)械泵作為前級(jí)泵的渦輪分子泵系統(tǒng)，是目前常用的高真空系統(tǒng)，有取代擴(kuò)散泵系統(tǒng)的趨勢(shì)。分子泵系統(tǒng)可以獲得10-1～10-6Pa的工作真空，
可達(dá)到lO-8Pa的極限壓強(qiáng)。分子泵系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)：對(duì)各種氣體的抽速差別不大，起動(dòng)快、油污染很輕，稱(chēng)之為半無(wú)油系統(tǒng)；能耗較低，
容易做到自動(dòng)控制。