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更新時間:2026-08-17 15:54:40瀏覽次數(shù):85
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一、概述
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。
二、應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品;
三、制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程
1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業(yè)超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式,這是一種制取超純水的較新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
四、電子工業(yè)超純水設備特點
電子工業(yè)超純水設備通常由全自動多介質過濾器,全自動活性碳過濾器,全自動軟化器、精密過濾器等構成預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
五、標準法規(guī)
中國國家電子級超純水規(guī)格GB/T11446.1-1997
溫馨提示:水處理設備的要求需要了解幾點內(nèi)容:
1、純水的產(chǎn)水量(按每小時計算)
2、純水要求的水質(例如多少兆歐)
3、原水進水水質是什么水(例如自來水,地表水,深井水)
4、制作純水的工藝(工藝不一樣價格也不一樣)
5、用于生產(chǎn)什么產(chǎn)品(例如電池片,蓄電池,玻璃行業(yè),化妝品行業(yè),化工行業(yè)等)
6、配置的品牌及控制方式(PLC自動控制,手動控制)型號和數(shù)量等。