聲學(xué)顯微鏡，學(xué)名是：掃描聲學(xué)顯微鏡Scanning Acoustic Microscope，簡(jiǎn)稱SAM。它是基于聲波脈沖反射和透射原理工作的，只要聲波信號(hào)在樣品表面或者內(nèi)部遇到聲波阻抗（如遇到孔隙、氣泡等），就會(huì)發(fā)生反射。   

SAM主要用于材料淺表層結(jié)構(gòu)分析、材料力學(xué)性能的檢測(cè)、無(wú)損檢測(cè)等。

• 雜質(zhì)顆粒、夾雜物、沉淀物等
• 裂紋
• 分層缺陷、附著物以及其他夾雜物
• 空洞、氣泡、空隙等

SAM與X-RAY的主要區(qū)別

儀器簡(jiǎn)介：德國(guó)KSI-SAM 

一、1990年，世界上*個(gè)做出頻率超過(guò)GHz的超1990年，世界上*個(gè)做出頻率超過(guò)GHz的超聲波掃描顯微鏡，到目前為

止，其他同類儀器公司只能做到200MHz 左右；

二，1991年，世界上*個(gè)在超聲波顯微鏡中做出GHz V(z), V(f)定量測(cè)量系統(tǒng)；

三，1996年，推出世界上*臺(tái)數(shù)字超聲波顯微鏡；

四，1998年，世界上*個(gè)做出帶有球面透鏡的超聲波換能器；

五，2002年，世界上*個(gè)在超聲波顯微鏡上實(shí)現(xiàn)材料阻抗測(cè)量；

六，2004年，世界上*個(gè)在超聲波顯微鏡掃描控制平臺(tái)中采用空氣墊懸浮線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的超高精度X-Y掃描系統(tǒng)；

七，2004年，世界上*個(gè)實(shí)現(xiàn)超聲波顯微鏡自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)，并受到保護(hù)；

八，2004年，世界上*個(gè)實(shí)現(xiàn)多探頭同時(shí)掃描大件樣品的超聲波顯微鏡系統(tǒng)，并受到保護(hù)。