高真空和超高真空薄膜沉積系統(tǒng)

單通道沉積系統(tǒng)

CreaPhys沉積系統(tǒng)專門為有機電子及相關領域設計。以多套已運行的設備和積累的經驗為基礎，我們可為每一位客戶個性化設計并制造符合特殊需要的每一套設備。以每一位用戶可支付的價格長期提供優(yōu)質的組件及*的質量保證。我們的設備規(guī)格包含實驗室小型系統(tǒng)，直端復雜的工業(yè)化定制設備。

說明：所有的蒸發(fā)器和部件都可以安裝到高真空和超高真空系統(tǒng)之中，也可以單獨銷售。

單通道沉積系統(tǒng)（EVAP-x系列）

CreaPhys EVAP-x系列是為客戶專門設計制造的單通道真空或高真空沉積系統(tǒng)。每一套系統(tǒng)都可以實現一至多個特定的科學研究或實際應用。這些設計經驗源于我們在真空沉積領域已成功運行的多套系統(tǒng)，諸如DE或ME系列設備。通常情況下，EVAP-x系統(tǒng)已完整配備了必要的真空、機械和電子部件（客戶特殊要求除外），達到了貨到即用的水平。

多通道沉積系統(tǒng)

多通道真空沉積系統(tǒng)集合了一組沉積腔，同時提供了一些互補性的其它功能。

說明：請咨詢我們的工程師為您量身定做*符合您要求的配置。

有機物制備與分析實驗室系統(tǒng)

這套系統(tǒng)高度集成的用于實驗室研究之目的的薄膜沉積系統(tǒng)。集多種有機物蒸發(fā)和金屬蒸發(fā)與一體，并配備原位采樣測試。所有部件均機械化，且工藝過程可以自動化。標準系統(tǒng)配置于300mm的玻璃罩內，且為高度模塊化設計，同時已配備了高真空（HV）系統(tǒng)。 這個平臺為特種無機物、有機物、以及金屬層狀沉積工藝提供了廣泛、但又緊湊的全自動分析方案。 典型應用于有機物設備，如光電二極管（OLED），以及有機光電池設備（OPV）。

說明：請咨詢我們的工程師為您量身定做*符合您要求的配置。