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主營產(chǎn)品： 蒸餾系統(tǒng);反應(yīng)釜;壓縮機(jī);蒸餾裝置;高壓反應(yīng)釜;隔膜式壓縮機(jī);溶劑回收蒸餾裝置 |
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更新時間：2022-09-13 17:19:40瀏覽次數(shù)：846
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薄膜沉積系統(tǒng)核心組件
坩堝型金屬蒸發(fā)器（ME系列）
標(biāo)準(zhǔn)的ME-系列坩堝型金屬蒸發(fā)器。通常的被沉積材料包括Ag, Mg, Ca, Cu 和 Au 等。如果沉積材料具有腐蝕性（如鋁等），請選擇MEB系列及遮光板選項(xiàng)。
技術(shù)參數(shù)： l 沉積速度：投擲距離250mm條件下，10-2 … 50 A/Sec（與物質(zhì)密切相關(guān)） l 溫度： 300°C -1400°C l 鎢絲，帶陶瓷絕熱器 l 功率：9A/350W（與大小有關(guān)） l 溫度傳感器類型：C型 l 水冷系統(tǒng)（約4L/min） l 溫度穩(wěn)定性：<0.1K l 適用于Ag, Mg,Ca, Cu 和 Au 等 | 選項(xiàng)： l 法蘭：CF法蘭 l 不同大小的坩堝 l 電源供應(yīng) l 遮光器 l PID溫度控制器 |
坩堝型金屬蒸發(fā)器ME-X
容積* | 蒸發(fā)器尺寸（mm） | 【大小】 | 訂貨編號 | |||
A** | B | C | D | |||
4 ccm | 110 | 35 | 53.7 | 20 | -4 | ME-4 |
8 ccm | 125 | 35 | 68.7 | 23 | -8 | ME-8 |
*對于圓錐形蒸發(fā)器
**指最小的位于真空系統(tǒng)中的長度，可按照用戶的要求延長
法蘭選項(xiàng)
法蘭 | 【法蘭】 | 訂貨編號 |
無法蘭 | BASE | ME-【大小】-BASE |
DN40CF* | CF40 | ME-【大小】-CF40 |
*更大的法蘭、ISO法蘭需要定制。水冷系統(tǒng)沒有包括。
遮光板選項(xiàng)
遮光板 | 【遮光板】 | 訂貨編號 |
不配備遮光板 | NOS | DE-【大小】-【法蘭】-NOS |
集成式遮光板，手動 | SHM | DE-【大小】-【法蘭】-SHM |
集成式遮光板，氣動* | SHP | DE-【大小】-【法蘭】-SHP |
集成式遮光板，電動* | SHE | DE-【大小】-【法蘭】-SHE |
*有些遮光板不可配備到小型法蘭上，如有必要，請咨詢詳細(xì)信息。
特殊定制型蒸發(fā)器
多段加熱微型有機(jī)物蒸發(fā)器 MZE系列
多段加熱微型有機(jī)物蒸發(fā)器用于熱敏性物質(zhì)的柔性蒸發(fā)。PID溫度控制下的溫度梯度保證在任何一個加熱段不發(fā)生霧化堵塞。另外，多段加熱微型有機(jī)物蒸發(fā)器可用于多過程研究。
多組微型有機(jī)物蒸發(fā)器 MZE系列
多組微型有機(jī)物蒸發(fā)器以靈活性快速研究沉積過程。
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