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干式羅茨螺桿真空系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2026-08-27 08:23:32瀏覽次數(shù)：61次

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  干燥箱

鼓風(fēng)干燥箱
  試驗(yàn)箱

高低溫試驗(yàn)箱
  制冷設(shè)備

冷水機(jī)
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  真空干燥箱系列
  真空泵/冷阱系列
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高低溫氣候箱

恒溫恒濕試驗(yàn)箱
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  高低溫試驗(yàn)箱系列
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電熱恒溫水槽
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遠(yuǎn)紅外干燥箱

高溫鼓風(fēng)干燥箱
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陶瓷纖維馬弗爐

箱式電阻爐
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氣浴恒溫振蕩器
  恒溫?fù)u床系列
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  加熱板系列

  其他品牌

上海喆圖科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品描述：VacSys干式羅茨螺桿真空系統(tǒng)為箱式一體機(jī)水冷結(jié)構(gòu),全系極限真空0.1Pa,抽速覆蓋540m3/h~1500m3/h,標(biāo)配氮?dú)獯祾叻栏雷o(hù),全程無(wú)油潔凈抽氣,適配制藥、鋰電、精細(xì)化工、真空鍍膜等場(chǎng)景,完整收錄全...

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述

干式羅茨螺桿真空系統(tǒng)

VacSys系列由干式螺桿前級(jí)泵和羅茨泵串聯(lián)組成全無(wú)油干式真空機(jī)組，全程無(wú)潤(rùn)滑油參與抽氣流程，可輸出潔凈高真空環(huán)境，適配含溶劑蒸汽、水汽、輕微粉塵、弱腐蝕性介質(zhì)的復(fù)雜工況，全面替代水環(huán)泵、油片旋片、滑閥泵等污染型真空設(shè)備。廣泛覆蓋多行業(yè)核心工藝：制藥領(lǐng)域用于原料藥真空干燥、濃縮蒸餾、溶媒回收，滿足GMP潔凈生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)；精細(xì)化工適配反應(yīng)精餾、高純物料精餾、有機(jī)廢氣閉環(huán)回收；新能源鋰電、光伏、半導(dǎo)體用于晶圓鍍膜、電池注液、硅片真空烘烤，杜絕油污污染提升良品率；冶金、真空熱處理配套真空退火、釬焊爐抽氣；同時(shí)應(yīng)用食品凍干、航空航天真空測(cè)試、實(shí)驗(yàn)室高真空實(shí)驗(yàn)等場(chǎng)景，可連續(xù)24小時(shí)穩(wěn)定運(yùn)行，兼顧工藝潔凈、溶劑回收、環(huán)保減排多重需求。

潔凈無(wú)油

①運(yùn)行無(wú)煙油、無(wú)廢油排放，無(wú)需配套廢油處理設(shè)備，無(wú)二次污染物產(chǎn)生，契合工業(yè)環(huán)保排污標(biāo)準(zhǔn)，減少危廢處置相關(guān)運(yùn)營(yíng)開(kāi)支。
②抽取的溶劑、有機(jī)蒸汽可直接冷凝回收，無(wú)廢油混合損耗，大幅提升化工、制藥原料回收率，降低物料生產(chǎn)成本，適配易燃易爆有機(jī)溶劑工況。
③整機(jī)泵腔內(nèi)部不注入潤(rùn)滑介質(zhì)，轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)依靠精密間隙隔絕油氣，從根源消除油霧返流污染真空腔體，保障物料、晶圓、藥品無(wú)有機(jī)雜質(zhì)沾染，適配高潔凈等級(jí)生產(chǎn)車(chē)間。

抽速穩(wěn)定

①搭載變頻啟動(dòng)邏輯，螺桿泵先預(yù)抽至設(shè)定壓力再聯(lián)動(dòng)羅茨泵，避免過(guò)載沖擊，壓力波動(dòng)幅度極小，間歇式生產(chǎn)、連續(xù)生產(chǎn)線均可穩(wěn)定適配。
②極限真空可達(dá)0.1~1Pa，單機(jī)組即可實(shí)現(xiàn)高真空工況，無(wú)需多臺(tái)羅茨泵串聯(lián)疊加，簡(jiǎn)化管路布局，降低整套設(shè)備占地空間與配套電控成本。
③羅茨泵負(fù)責(zé)低壓區(qū)間大流量增壓，螺桿前級(jí)泵穩(wěn)定維持基礎(chǔ)真空，大氣至1Pa區(qū)間全程保持穩(wěn)定抽速，快速拉低真空，縮短單批次工藝抽真空時(shí)長(zhǎng)，提升產(chǎn)線周轉(zhuǎn)效率。

耐化學(xué)腐蝕

①特殊間隙結(jié)構(gòu)可耐受少量水汽、結(jié)晶粉塵、輕質(zhì)顆粒，不易卡滯抱死，相比油封泵、水環(huán)泵，對(duì)潮濕、含塵工況適配性更強(qiáng)。
②內(nèi)置前置精密過(guò)濾、在線吹掃接口，可定期清理腔體內(nèi)析出物料，防止介質(zhì)沉積影響抽氣性能，適配蒸餾、干燥易結(jié)垢工藝。
③泵體轉(zhuǎn)子、腔體標(biāo)配防腐鍍層，可耐PFA涂層、哈氏合金內(nèi)襯，耐受弱酸、弱堿、有機(jī)溶劑蒸汽腐蝕，長(zhǎng)期抽離腐蝕介質(zhì)不易銹蝕磨損。

節(jié)能降耗

①無(wú)油水分離、廢液循環(huán)配套設(shè)備，減少輔助能耗，長(zhǎng)期連續(xù)生產(chǎn)下綜合能耗較傳統(tǒng)機(jī)組降低35%~45%。
②對(duì)比傳統(tǒng)水環(huán)真空機(jī)組，節(jié)水90%以上，僅需少量循環(huán)水冷散熱，擺脫持續(xù)補(bǔ)水限制，缺水廠區(qū)、室外工況均可穩(wěn)定使用。
③復(fù)合泵組匹配功率分級(jí)設(shè)計(jì)，同等抽速下整機(jī)功耗低于單螺桿泵，選配變頻驅(qū)動(dòng)可根據(jù)真空需求動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，空載、輕載工況顯著省電。

便于維護(hù)

①轉(zhuǎn)子無(wú)接觸摩擦運(yùn)轉(zhuǎn)，無(wú)易損密封片、葉片耗材，核心部件磨損極低，整機(jī)大修周期大幅延長(zhǎng)，減少停機(jī)檢修頻次。
②配備溫度、壓力、過(guò)載自動(dòng)保護(hù)，實(shí)時(shí)監(jiān)控機(jī)組運(yùn)行狀態(tài)，故障自動(dòng)報(bào)警停機(jī)，降低人為操作失誤帶來(lái)的設(shè)備損壞風(fēng)險(xiǎn)。
③模塊化集成機(jī)架設(shè)計(jì)，泵體、管路、閥門(mén)分區(qū)排布，拆裝清洗便捷，針對(duì)溶劑結(jié)晶工況可快速拆解腔體沖洗，維護(hù)操作門(mén)檻低。

低噪智能

①標(biāo)配止回閥、旁路泄壓保護(hù)，停機(jī)瞬間自動(dòng)隔絕腔體與外界空氣，防止介質(zhì)倒灌污染工件，降低人工操作步驟。
②集成一體化智能電控柜，支持真空度自動(dòng)調(diào)節(jié)、啟停時(shí)序自動(dòng)控制，可對(duì)接工廠MES系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集與聯(lián)動(dòng)控制。
③轉(zhuǎn)子經(jīng)過(guò)動(dòng)平衡校正，搭配減震底座與降噪管路，整機(jī)運(yùn)行噪音控制在65dB以?xún)?nèi)，適配實(shí)驗(yàn)室、潔凈車(chē)間、密閉廠房等作業(yè)環(huán)境。

干式羅茨螺桿真空系統(tǒng)參數(shù)表
型號(hào)	VacSys-540U	VacSys-600U	VacSys-792U	VacSys-1200U	VacSys-1440U	VacSys-1500U
抽速	540m³/h(150L/s)	600m³/h(167L/s)	792m³/h(220L/s)	1200m³/h(333L/s)	1440m³/h(400L/s)	1500m³/h(500L/s)
極限壓力	0.1Pa	0.1Pa	0.1Pa	0.1Pa	0.1Pa	0.1Pa
外觀結(jié)構(gòu)	箱式一體機(jī)	箱式一體機(jī)	箱式一體機(jī)	箱式一體機(jī)	箱式一體機(jī)	箱式一體機(jī)
冷卻方式	水冷	水冷	水冷	水冷	水冷	水冷
流量	4L/min	3-8L/min	5L/min	3-8L/min	7L/min	3-8L/min
進(jìn)氣口	100mm	ISO160	150mm	ISO160	145mm	ISO160
排氣口	40mm	NW40	50mm	NW40	40mm	NW40
吹掃裝置	有/氮?dú)獯祾?/td>	有/氮?dú)獯祾?/td>	有/氮?dú)獯祾?/td>	有/氮?dú)獯祾?/td>	有/氮?dú)獯祾?/td>	有/氮?dú)獯祾?/td>
電機(jī)功率	3kW+4.5kW	4.5kW+2kW	3.5kW+4.5kW	4.5kW+4.5kW	4.5kW+4.5kW	4.5kW+4.5kW
儀表顯示	可選	可選	可選	可選	可選	可選
真空機(jī)組構(gòu)成	羅茨真空泵（主泵）+螺桿真空泵（前級(jí)泵）