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干式增強螺桿真空泵機組

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更新時間：2026-08-27 08:26:19瀏覽次數(shù)：41次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述：SJRE系列干式增強螺桿真空泵機組采用羅茨泵+增強型干式螺桿真空泵機組，處理粉塵能力更強，且熱穩(wěn)定性高，適合CVD、ALD等工藝。...

詳細介紹

  • 產(chǎn)品描述
干式螺桿真空泵/羅茨真空泵/真空泵機組
用途概述
干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、螺桿羅茨真空泵機組憑借其創(chuàng)新設(shè)計與性能，成為半導(dǎo)體、制藥、石化、化工等高要求行業(yè)的理想選擇。針對復(fù)雜真空工藝需求，該系列通過提供清潔無油的真空環(huán)境，適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含粉塵顆粒氣體的抽除場景，助力企業(yè)及科研實驗實現(xiàn)高效生產(chǎn)與環(huán)保目標。其廣泛適用于真空釬焊、鍍膜、退火、干燥等關(guān)鍵工藝，并在航空航天、電子、冶金、醫(yī)藥等領(lǐng)域推動技術(shù)升級，逐步替代傳統(tǒng)油封機械泵與液環(huán)泵，成為綠色智能制造的核心裝備。
產(chǎn)品特點
技術(shù)特點
※水冷循環(huán)散熱技術(shù)，可消除風(fēng)扇高速運轉(zhuǎn)引發(fā)的空氣擾動揚塵問題；
※工作腔內(nèi)無潤滑油，杜絕油氣污染，確保真空環(huán)境純凈度，顯著提升產(chǎn)品良率；
※工藝氣體回收利用率高，尾氣處理更便捷，助力企業(yè)降低環(huán)保成本，符合嚴苛排放標準；
智能操控
※泵腔及轉(zhuǎn)子表面可選配多種防腐涂層，耐受強酸、強堿等惡劣介質(zhì)，使用壽命延長；
※多級螺旋轉(zhuǎn)子設(shè)計精準適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含微粒粉塵的復(fù)雜氣體環(huán)境；
※間隙密封結(jié)構(gòu)對微小顆粒不敏感，直通式泵腔設(shè)計避免粉塵沉積，保障連續(xù)穩(wěn)定運行；
高效節(jié)能
※優(yōu)化轉(zhuǎn)子平衡技術(shù)與多層減震結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)超低振動與低噪運行；
※工作溫度低，有效較少冷卻水的消耗，契合綠色工廠低碳目標，運行噪聲低；
※螺桿嚙合傳動效率優(yōu)化，能耗較傳統(tǒng)泵有效降低，搭配智能變頻配置進一步節(jié)能；
羅茨真空
※羅茨真空泵適用于蒸餾蒸發(fā)、冷凍干燥等含大量水蒸氣的復(fù)雜工況；
※當(dāng)作為前級泵時，可高效抽除水蒸氣混合氣體，保障生產(chǎn)流程的連續(xù)性與穩(wěn)定性；
※工作壓力范圍寬，可從大氣壓平滑過渡至高真空狀態(tài)，靈活適配多行業(yè)多階段工藝需求
可選配置
①氮氣吹掃：針對少量粉塵環(huán)境優(yōu)化，通過特殊密封結(jié)構(gòu)及氮氣吹掃裝置，可耐受生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的細微顆粒（如硅粉、石墨粉塵），避免堵塞或磨損，顯著延長設(shè)備壽命，減少維護頻率，降低停機損失，為生產(chǎn)研發(fā)的連續(xù)性提供堅實保障。
②PLC控制：可實時監(jiān)測真空度、壓力及生產(chǎn)負載變化，動態(tài)調(diào)節(jié)泵組轉(zhuǎn)速與功率輸出。
設(shè)備啟動迅速，可按需供能，既能避免過度抽氣造成的能源浪費，又能為高敏感工藝營造穩(wěn)定真空環(huán)境，如在單晶硅拉制過程中，持續(xù)提供恒定低壓條件，確保晶體生長品質(zhì)。
③噪音控制：若工藝環(huán)境對噪音敏感（如實驗室、精密車間等），可加裝消音器；
④鈑金外殼：提供防護（防塵、防濺）、提升設(shè)備整體美觀度及結(jié)構(gòu)強度；
一、介質(zhì)特性：明確抽取介質(zhì)的具體類型（如氣體、液體混合物等），是否包含以下特殊成分，喆圖技術(shù)部
據(jù)此可確定泵體涂層方案（如耐腐蝕涂層、耐磨涂層等），并判斷是否需額外配置過濾器（針對粉塵/顆粒物）
蒸汽（需確認蒸汽類型及含量）
粉塵（需確認粒徑范圍及濃度）
腐蝕性介質(zhì)（需說明具體腐蝕性物質(zhì)及濃度，如酸/堿/有機溶劑等）
二、性能參數(shù)：被抽容器的有效容積（需明確具體數(shù)值），目標真空度（需注明是極限真空還是工作真空范圍）達到目標真空度所需的時間要求（單位：分鐘/小時，如“30分鐘內(nèi)抽至10Pa”）。
三、安裝空間：安裝位置的實際可用空間尺寸（寬*深*高）以及現(xiàn)場安裝環(huán)境（通風(fēng)條件、周邊設(shè)備間距等）
DS、DVS：干式螺桿真空泵
RZ、RZP：羅茨真空泵
JRZ：干式螺桿羅茨真空泵機組
SJ：適合中小工藝直接抽真空的應(yīng)用，包括鋰電新能源、化工制藥、鋼鐵治煉等。
SJR：采用羅茨泵+干式螺桿真空泵的多段抽空機組，可選2段、3段式真空泵，粉塵和液體處理能力強，適用于常規(guī)抽空、拉晶、鋰電新能源及部分ALD等應(yīng)用。
SJRE：采用羅茨泵+增強型干式螺桿真空泵機組，處理粉塵能力更強，且熱穩(wěn)定性高，適合CVD、ALD等工藝。
RM：采用羅茨泵+多級羅茨干泵的機組，能耗小、過程溫度可控、噪音低，適合實驗室，鍍膜、半導(dǎo)體等應(yīng)用
SBJ：采用變徑變距的干式螺桿真空泵的單泵機組，更加節(jié)能、低噪和低排氣溫度，適用于鋰電新能源、化工、制藥、光伏、半導(dǎo)體等應(yīng)用。
SBJR：采用羅茨泵+變徑變距的干式螺桿真空泵的多段抽空機組，可選2段式、3段式機組，更加節(jié)能、低噪和低排氣溫度，適用于電新能源、化工、制藥、光伏、半導(dǎo)體等應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 干式等徑等距螺桿真空泵
型號 極限壓力 抽氣速率 進氣口徑 排氣口徑 冷卻方式 功率 質(zhì)量
DS-6 5Pa 20m³/h ≈ 6L/s KF25 KF25 風(fēng)冷 1100W 55kg
DS-14 5Pa 50m³/h ≈ 14L/s KF40 KF25 風(fēng)冷 1500W 90kg
DS-22 5Pa 80m³/h ≈ 22L/s KF40 KF40 風(fēng)冷 2200W 110kg
DS-50 2Pa 180m³/h ≈ 50L/s 40mm 40mm 2.5L/min 7500W 295kg
DS-69 2Pa 250m³/h ≈ 69L/s 80mm 80mm 2.6L/min 7500W 350kg
DS-111 2Pa 400m³/h ≈ 111L/s 100mm 100mm 2.8L/min 15000W 480kg
DS-150 2Pa 540m³/h ≈ 150L/s 150mm 150mm 3L/min 18500W 520kg
DS-200 2Pa 720m³/h ≈ 200L/s 200mm 200mm 4L/min 22000W 680kg
DS-300 2Pa 1080m³/h ≈ 300L/s 250mm 200mm 5.5L/min 30000W 950kg
 
產(chǎn)品名稱 干式等徑變距螺桿真空泵
型號 極限壓力 抽氣速率 進氣口徑 排氣口徑 冷卻方式 功率 質(zhì)量
DVS-69 2Pa 250m³/h ≈ 69L/s 65mm 40mm 2.5L/min 7500W 295kg
DVS-111 2Pa 400m³/h ≈ 111L/s 80mm 40mm 2.6L/min 7500W 350kg
DVS-160 2Pa 576m³/h ≈ 160L/s 100mm 65mm 2.8L/min 15000W 480kg
DVS-220 2Pa 792m³/h ≈ 220L/s 150mm 65mm 3L/min 18500W 520kg
DVS-330 2Pa 1188m³/h ≈ 330L/s 150mm 65mm 4L/min 30000W 680kg
DVS-450 2Pa 1620m³/h ≈450L/s 200mm 80mm 6L/min 45000W 950kg
DVS-280 100Pa 1008m³/h ≈ 280L/s 150mm 65mm 3.2L/min 22000W 520kg
DVS-300 100Pa 1080m³/h ≈ 300L/s 150mm 65mm 4L/min 22000W 520kg
DVS-400 100Pa 1440m³/h ≈400L/s 150mm 65mm 5L/min 37000W 680kg
 
產(chǎn)品名稱 羅茨真空泵
型號 極限壓力 抽氣速率 進氣口徑 排氣口徑 溢流閥 功率 質(zhì)量
RZ-150 0.75Pa 5 .6×10-³Pa 150L/s 100mm 100mm 無 2200W 180kg
RZ-300 0.75Pa 5 .6×10-³Pa 300L/s 150mm 150mm 無 4000W 250kg
RZ-600 0.75Pa 5 .6×10-³Pa 600L/s 200mm 200mm 無 7500W 550kg
RZ-1200 0.75Pa 5 .6×10-³Pa 1200L/s 250mm 200mm 無 11000W 730kg
RZ-5000 0.8Pa 5 .6×10-³Pa 5000L/s 400mm 400mm 無 30000W 1800kg
RZP-70 0.75Pa 5 .6×10-³Pa 70L/s 80mm 80mm 有 1100W 110kg
RZP-150 0.75Pa 5 .6×10-³Pa 150L/s 100mm 100mm 有 2200W 190kg
RZP-300 0.75Pa 5 .6×10-³Pa 300L/s 150mm 150mm 有 4000W 265kg
RZP-600 0.75Pa 5 .6×10-³Pa 600L/s 200mm 200mm 有 7500W 570kg
RZP-1200 0.75Pa 5 .6×10-³Pa 1200L/s 250mm 200mm 有 11000W 770kg
RZP-2500 0.75Pa 5 .6×10-³Pa 2500L/s 320mm 320mm 有 18500W 1350kg
 
產(chǎn)品名稱 干式螺桿羅茨真空泵機組
型號 JRZ-150-S3 JRZ-150-S2 JRZ-300-S3 JRZ-300-S2 JRZ-600-S4 JRZ-600-S3 JRZ-1200-VS4
前級螺桿泵 DS50 DS70 DS110 DS150 DS150 DS200 DVS300
羅茨主泵 RZ150 RZ150 RZ300 RZ300 RZ600 RZ600 RZ1200
抽氣速率 150L/s 150L/s 300L/s 300L/s 600L/s 600L/s 1200L/s
抽速比 3 2 .14 2 .73 2 4 3 4
極限壓力 0 . 5Pa 0 .1Pa 0 .1Pa 0 .1Pa 0 .1Pa 0 .1Pa 0 .2Pa
主泵功率 3000W 3000W 3500W 3500W 4500W 4500W 11000W
前級泵功率 7500W 7500W 4500W 4500W 4500W 7500W 7500W
進氣口徑 100mm 100mm 150mm 150mm 145mm 145mm 250mm
排氣口徑 40mm 40mm 50mm 50mm 40mm 40mm 40mm
冷卻水量 4L/min 4L/min 5L/min 5L/min 6L/min 7L/min 9L/min
重量 600kg 600kg 650kg 650kg 650kg 700kg 1250kg
 
名稱 干式等徑變距螺桿真空泵
型號 抽速 極限壓力 進氣口 排氣口 電壓 功率 N2吹掃 冷源
SJ-80 80m³/h 22L/s ≤1Pa(≤1*10-²mbar/≤7.5*10-³Torr） NW50 NW40 220V或380V 3kW 標配 選配
SJ-180 180m³/h 50L/s NW50 NW40 4.5kW 標配 選配
SJ-200 200m³/h 56L/s ISO63 NW40 6kW 標配 選配
SJ-300 300m³/h 83L/s ISO63 NW40 6kW 標配 選配
SJ-380 380m³/h 106L/s ISO63 NW40 7.5kW 標配 選配
SJ-450 450m³/h 125L/s ISO63 ISO63 11kW 標配 選配
SJ-580 580m³/h 161 L/s ISO100 ISO63 11kW 標配 選配
SJ-680 680m³/h 189L/s ISO100 ISO63 15kW 標配 選配
SJ-950 950m³/h 264L/s ISO100 ISO80 22kW 標配 選配
SJ-1200 1200m³/h 333L/s ISO160 ISO80 22kW 標配 選配
SJ-1500 1500m³/h 417L/s ISO160 ISO80 37kW 標配 選配
SJ-2500 2500m³/h 694L/s ISO160 ISO100 55kW 標配 選配
 
名稱 干式等徑變距螺桿真空泵機組
型號 抽速 極限壓力 進氣口 排氣口 電壓 功率 N2吹掃 冷源
SJR-600 600m³/h 167L/s ≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr） ISO160 NW40 220V或380V 4.5/2kW 標配 選配
SJR-1200 1200m³/h 333L/s ISO160 NW40 4.5/4.5kW 標配 選配
SJR-1500 1500m³/h 417L/s ISO160 NW40 4.5/4.5kW 標配 選配
SJR-2100 2100m³/h 583L/s ISO160 NW40 6/4.5kW 標配 選配
SJR-4200 4200m³/h 1167L/s ISO200 NW40 6/6kW 標配 選配
SJR-4500 4500m³/h 1250L/s ISO250 ISO63 11/7.5kW 標配 選配
SJR-5400 5400m³/h 1 500L/s ISO250 ISO63 15/7.5kW 標配 選配
SJR-6300 6300m³/h 1750L/s ISO250 ISO63 15/11 kW 標配 選配
SJR-7200 7200m³/h 2000L/s ISO250 ISO80 22/15kW 標配 選配
 
名稱 干式增強螺桿真空泵機組
型號 抽速 極限壓力 進氣口 排氣口 電壓 功率 N2吹掃 冷源
SJRE-600 600m³/h 167L/s ≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr） ISO100 NW40 220V或380V 4.5/2kW 標配 選配
SJRE-1200 1200m³/h 333L/s ISO160 NW40 4.5/4.5kW 標配 選配
SJRE-1800 1800m³/h 500L/s ISO160 NW40 4.5/4.5kW 標配 選配
SJRE-3000 3000m³/h 833L/s ISO200 NW40 11 /6kW 標配 選配
SJRE-4500 4500m³/h 1250L/s ISO250 NW40 11 /7.5kW 標配 選配
SJRE-5400 5400m³/h 1500L/s ISO250 NW40 11/11kW 標配 選配
 
名稱 干式多級羅茨真空泵機組
型號 抽速 極限壓力 進氣口 排氣口 電壓 功率 N2吹掃 冷源
RM-600 600m³/h 167L/s ≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr） ISO160 NW40 220V或380V 4.5/2kW 標配 選配
RM-1200 1200m³/h 333L/s ISO160 NW40 4.5/4.5kW 標配 選配
RM-1800 1800m³/h 500L/s ISO160 NW40 4.5/4.5kW 標配 選配
RM-3000 3000m³/h 833L/s ISO250 NW40 11 /6kW 標配 選配
RM-4500 4500m³/h 1250L/s ISO250 NW40 11 /7.5kW 標配 選配
RM-5400 5400m³/h 1 500L/s ISO250 NW40 11/11kW 標配 選配
 
名稱 干式變徑變距真空泵機組
型號 抽速 極限壓力 進氣口 排氣口 電壓 功率 N2吹掃 冷源
SBJ-160 160m³/h 44L/s ≤0.1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr） ISO63 NW40 220V或380V 4.5kW 標配 選配
SBJ-300 300m³/h 83L/s ISO63 NW40 6kW 標配 選配
SBJ-500 500m³/h 139L/s ISO100 NW50 11kW 標配 選配
SBJ-800 800m³/h 222L/s ISO100 NW50 22kW 標配 選配
 
名稱 干式變徑變距螺桿真空泵機組
型號 抽速 極限壓力 進氣口 排氣口 電壓 功率 N2吹掃 冷源
SBJR-1200 1200m³/h 333L/s ≤0.1Pa(≤1*10-²mbar/≤7.5*10-³Torr） ISO160 NW40 220V或380V 4.5/4.5kW 標配 選配
SBJR-2100 2100m³/h 583L/s ISO160 NW40 6/4.5kW 標配 選配
SBJR-3000 3000m³/h 833L/s ISO200 NW40 6/6kW 標配 選配
SBJR-4200 4200m³/h 1167L/s ISO250 NW40 6/7.5kW 標配 選配
SBJR-5400 5400m³/h 1500L/s ISO250 NW50 15/7.5kW 標配 選配
SBJR-7200 7200m³/h 2000L/s ISO250 NW50 22/115kW 標配 選配
 
名稱 超高真空復(fù)合分子泵
型號 抽速 極限壓力 進氣口 排氣口 電源電壓 功率 N2吹掃 冷源
UHV-7200 7200m³/h 2000L/s 5*10-?Pa前級2Torr ISO250 NW40 220V50Hz 1kW 標配 標配
UHV-16200 16200m³/h 4500L/s ISO400 NW40 1kW 標配 標配
 
名稱 磁懸浮復(fù)合分子泵
型號 抽速 極限壓力 進氣口 排氣口 電源電壓 功率 N2吹掃 冷源
MFP-4320 4320m³/h 2000L/s 5*10-?Pa前級2Torr ISO200 NW40 220V50Hz 0.75kW 標配 標配
MFP-9720 9720m³/h 2700L/s 1*10-?Pa前級2Torr ISO250 NW40 220V50Hz 1.8kW 標配 標配
MFP-11880 11880m³/h 3300L/s 1*10-?Pa前級2Torr ISO320 NW40 220V50Hz 1.8kW 標配 標配
MFP-16200 16200m³/h 4500L/s 1*10-?Pa前級2Torr ISO400 NW40 220V50Hz 1.8kW 標配 標配
 

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