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變螺距干式螺桿真空泵

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更新時間：2026-08-27 08:22:24瀏覽次數(shù)：57次

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上海喆圖科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述：干式螺桿真空泵分為SVE水冷大流量款,SVB變螺距高低真空款,GLR小型風(fēng)冷防爆款三大系列,極限壓力覆蓋3Pa~2Pa,抽速8m3/h~1440m3/h,全系可選多層防腐涂層,適配半導(dǎo)體,制藥,石化,真空鍍膜,單晶硅制備等...

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述

變螺距干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵，分子泵憑借其創(chuàng)新設(shè)計(jì)與性能，成為半導(dǎo)體、制藥、石化、化工等高要求行業(yè)的理想選擇。針對復(fù)雜真空工藝需求，該系列通過提供清潔無油的真空環(huán)境，適配腐蝕性氣體、可凝性蒸汽及含粉塵顆粒氣體的抽除場景，助力企業(yè)及科研實(shí)驗(yàn)實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)與環(huán)保目標(biāo)。其廣泛適用于真空釬焊、鍍膜、退火、干燥等關(guān)鍵工藝，并在航空航天、電子、冶金、醫(yī)藥等領(lǐng)域推動技術(shù)升級，逐步替代傳統(tǒng)油封機(jī)械泵與液環(huán)泵，成為綠色智能制造的核心裝備，支持單機(jī)或多泵組合（如與羅茨羅茨泵聯(lián)動）構(gòu)建干式真空機(jī)組。

技術(shù)特點(diǎn)

①水冷循環(huán)散熱技術(shù)，可消除風(fēng)扇高速運(yùn)轉(zhuǎn)引發(fā)的空氣擾動揚(yáng)塵問題；
②工作腔內(nèi)無潤滑油，杜絕油汽污染，確保真空環(huán)境純凈度，顯著提升產(chǎn)品良率；
③工藝氣體回收利用率高，尾氣處理更便捷，助力企業(yè)降低環(huán)保成本，符合嚴(yán)苛排放標(biāo)準(zhǔn)。

防腐涂層

①泵腔及轉(zhuǎn)子表面可選配多種防腐涂層，耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等惡劣介質(zhì)，使用壽命延長；
②多級螺旋轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)精準(zhǔn)適配腐蝕性氣體、可凝性蒸汽及含微粉塵的復(fù)雜氣體環(huán)境；
③間隙密封結(jié)構(gòu)對微小顆粒不敏感，直通式泵腔設(shè)計(jì)避免粉塵沉積，保障連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。

高效節(jié)能

①優(yōu)化轉(zhuǎn)子平衡技術(shù)與多層減震結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)超低振動與低噪音運(yùn)行；
②工作溫度低，有效減少冷卻水的消耗，契合綠色工廠低碳目標(biāo)，運(yùn)行噪聲低；
③螺桿嚙合傳動效率優(yōu)化，能耗較傳統(tǒng)泵有效降低，搭配智能變頻配置進(jìn)一步節(jié)能。

可選配置

①氮?dú)獯祾撸横槍ι倭糠蹓m環(huán)境優(yōu)化，通過特殊密封結(jié)構(gòu)及氮?dú)獯祾哐b置，可耐受生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的細(xì)微顆粒（如硅粉、石墨粉塵），避免堵塞或磨損，顯著延長設(shè)備壽命，減少維護(hù)頻率，降低停機(jī)損失，為生產(chǎn)研發(fā)的連續(xù)性提供堅(jiān)實(shí)保障。
②PLC控制：可實(shí)時監(jiān)測真空度、壓力及生產(chǎn)負(fù)載變化，動態(tài)調(diào)節(jié)泵組轉(zhuǎn)速與功率輸出。設(shè)備啟動迅速，按需供能，既能避免過度抽氣造成的能源浪費(fèi)，又能為高敏感工藝營造穩(wěn)定真空環(huán)境，如在單晶硅拉制過程中，持續(xù)提供恒定低壓條件，持續(xù)保障生長高品質(zhì)長晶。
③噪音控制：若工藝環(huán)境對噪音敏感（如實(shí)驗(yàn)室、精密車間等），可加裝消音器；
④鈑金外殼：提供防護(hù)（防塵、防濺）、提升設(shè)備整體美觀度及結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。

干式螺桿真空泵
型號	SVE-180	SVE-250	SVE-400	SVE-540	SVE-720	SVE-1080
抽速	180m³/h	250m³/h	400m³/h	540m³/h	720m³/h	1080m³/h
極限壓力	2Pa
涂層材質(zhì)	哈氏合金（可選特氟龍涂層或鈦合金涂層）
冷卻方式	水冷
冷卻水量	2.5L/min	2.6L/min	2.8L/min	3L/min	4L/min	5.5L/min
進(jìn)/排氣口	65/40mm	80/40mm	100/65mm	150/65mm	150/65mm	200/80mm
電機(jī)功率	7.5kW	7.5kW	15kW	18.5kW	22kW	30kW
外形尺寸	1207400780	1243400780	1557490905	1538530930	17356001055	17356001050

變螺距干式螺桿真空泵
型號	SVB-20 SVB-20Ex	SVB-50 SVB-50Ex	SVB-80 SVB-80Ex	SVBH-20 SVBH-20Ex	SVBH-50 SVBH-50Ex	SVBH-80 SVBH-80Ex
抽速	20m³/h	50m³/h	80m³/h	20m³/h	50m³/h	80m³/h
極限壓力	50Pa			3Pa
冷卻方式	風(fēng)冷
進(jìn)/排氣口	KF25/KF25	KF40/KF25	KF40/KF25	KF25/KF25	KF40/KF25	KF40/KF25
電源電壓	220V/50Hz
電機(jī)功率	1100W	2200W	3000W	1100W	1500W	2200W
外形尺寸	673303275	769331292	844331292	673303275	769331292	844331292

變螺距干式螺桿真空泵
型號	SVB-250	SVB-400	SVB-576	SVB-792	SVB-1188	SVB-1620	SVB-1008	SVB-1080	SVB-1440
抽速	250m³/h	400m³/h	576m³/h	792m³/h	1188m³/h	1620m³/h	1008m³/h	1080m³/h	1440m³/h
極限壓力	2Pa						100Pa
涂層材質(zhì)	哈氏合金（可選特氟龍或鈦合金涂層）						哈氏合金（可選特氟龍或鈦合金涂層）
冷卻方式	水冷
冷卻水量	2.5L/min	2.6L/min	2.8L/min	3L/min	4L/min	6L/min	3.2L/min	4L/min	5L/min
進(jìn)/排氣口	65/40mm	80/40mm	100/65mm	150/65mm	150/65mm	200/80mm	150/65mm	150/65mm	150/65mm
電機(jī)功率	7.5kW	7.5kW	15kW	18.5kW	30kW	45kW	22kW	22kW	37kW

干式螺桿真空泵
型號	GLR-S8 GLR-S8Ex	GLR-S20 GLR-S20Ex	GLR-S30 GLR-S30Ex	GLR-S40 GLR-S40Ex	GLR-S60 GLR-S60Ex	GLR-S80 GLR-S80Ex
抽速	8m³/h	20m³/h	30m³/h	40m³/h	60m³/h	80m³/h
轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)	等徑變螺距
冷卻方式	風(fēng)冷
防腐涂層	特氟龍涂層（可選哈氏合金涂層）				特氟龍涂層（可選哈氏合金涂層）
極限壓力	≤1Pa ≤110?²mbar ≤7.510?³Torr				≤3Pa ≤310?²Pa ≤2.2510?²Torr
進(jìn)氣口/出氣口	KF25	KF25	KF40	KF40	KF40	KF40
啟動方式	變頻啟動（Starter）
電源電壓	380V 50Hz（可選220V 50Hz）				380V 50Hz（可選220V 50Hz）
功率	1100W	1100W	1100W	1500W	1500W	2200W
吹掃裝置	標(biāo)配
吹掃裝置壓力	1.5 ~ 2bar
吹掃裝置接口	6mm快插口