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蘇州芯矽電子科技有限公司


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半導(dǎo)體濕法清洗機 芯矽科技

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參   考   價: ￥ 10000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-09-17 10:14:19瀏覽次數(shù)：2次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：157條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳經(jīng)理 （銷售）

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新

芯矽科技的半導(dǎo)體濕法清洗機是國產(chǎn)半導(dǎo)體工藝核心裝備，融合超聲波、兆聲波及干法輔助技術(shù)，精準(zhǔn)去除納米級顆粒、金屬離子等污染物，適配硅基及化合物半導(dǎo)體。設(shè)備智能系統(tǒng)與全自動上下料，化學(xué)液循環(huán)利用率達85%，已進入主流晶圓廠產(chǎn)線，助力產(chǎn)業(yè)高效綠色發(fā)展。

詳細介紹

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓表面潔凈度直接決定芯片良率與性能，芯矽科技的半導(dǎo)體濕法清洗機作為關(guān)鍵工藝設(shè)備，以技術(shù)創(chuàng)新與全場景適配能力，成為推動國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備自主可控的重要力量。

該設(shè)備深度融合多元清洗技術(shù)，將超聲波、兆聲波與干法輔助技術(shù)有機結(jié)合，能精準(zhǔn)剝離納米級顆粒、金屬離子及光刻膠殘留等污染物，尤其適配高深寬比結(jié)構(gòu)與GaN、SiC等化合物半導(dǎo)體的清洗需求，為制程提供可靠潔凈保障。智能化與自動化是其核心優(yōu)勢，設(shè)備搭載PLC控制系統(tǒng)，可實時監(jiān)測溶液pH值、電導(dǎo)率等關(guān)鍵參數(shù)，動態(tài)優(yōu)化清洗策略，確保工藝穩(wěn)定性；機械臂傳輸精度達±0.1mm，配合全自動上下料系統(tǒng)，大幅減少人為干預(yù)，降低良率損失。

在環(huán)保與耐用性上，設(shè)備槽體采用PFA/PTFE耐腐蝕工程塑料，耐受強腐蝕性化學(xué)品，搭配廢液回收與熱回收系統(tǒng)，化學(xué)液回收率超80%，能耗降低30%以上，符合國際環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，兼顧高效與綠色發(fā)展。模塊化設(shè)計則讓設(shè)備支持快速更換功能模塊，兼容多代際產(chǎn)線，靈活適配從實驗室研發(fā)到量產(chǎn)的全周期需求。目前，該產(chǎn)品已成功進入長江存儲、中芯國際等主流產(chǎn)線，覆蓋集成電路制造、封裝等多元場景，以精準(zhǔn)、高效、可靠的性能，成為國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要支撐。

關(guān)鍵詞：清洗機

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