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蘇州芯矽電子科技有限公司


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外延片清洗機(jī) 芯矽科技

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-08-17 16:50:02瀏覽次數(shù)：79次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：162條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳經(jīng)理 （銷(xiāo)售）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 產(chǎn)品新舊 全新

芯矽科技深耕半導(dǎo)體清洗領(lǐng)域，其外延片清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造核心設(shè)備。它融合濕法、超聲波等清洗技術(shù)，精準(zhǔn)去除外延片表面顆粒、有機(jī)物及金屬離子等污染物，保障晶圓潔凈度。設(shè)備具備自動(dòng)化設(shè)計(jì)，支持多尺寸晶圓，配備智能控制與安全防護(hù)系統(tǒng)，高效提升清洗效率與穩(wěn)定性，為集成電路、功率器件等領(lǐng)域筑牢工藝基礎(chǔ)。

詳細(xì)介紹

芯矽科技深耕半導(dǎo)體濕法清洗領(lǐng)域，其外延片清洗機(jī)作為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備，憑借技術(shù)為行業(yè)筑牢工藝根基。該設(shè)備融合濕法清洗、超聲波、兆聲波及等離子體等多元技術(shù)，精準(zhǔn)去除外延片表面顆粒、有機(jī)物、金屬離子及氧化層等污染物，可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)潔凈度，適配硅片、GaN/SiC等化合物半導(dǎo)體多元清洗需求。

設(shè)備采用全流程閉環(huán)設(shè)計(jì)，預(yù)清洗、主清洗、漂洗、烘干多槽聯(lián)動(dòng)，各槽體獨(dú)立控溫控流，一站式自動(dòng)化運(yùn)作規(guī)避二次污染，大幅提升清洗效率。同時(shí)，配備智能控制系統(tǒng)，支持PLC精準(zhǔn)調(diào)控溫度、時(shí)間等參數(shù)，搭配自動(dòng)化傳輸與安全防護(hù)設(shè)計(jì)，兼容2-12英寸晶圓，適配集成電路、功率器件、光通信等多領(lǐng)域需求。

依托模塊化定制與全周期服務(wù)，芯矽科技外延片清洗機(jī)兼顧高效與可靠，打破海外壟斷，助力產(chǎn)業(yè)鏈自主可控，為半導(dǎo)體制造高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。

關(guān)鍵詞：清洗機(jī)

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