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行業(yè)產品

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蘇州芯矽電子科技有限公司


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wafer多片式清洗機 芯矽科技

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產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳經理查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-07-07 17:03:21瀏覽次數(shù)：144次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：165條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳經理 （銷售）

產品簡介
產地 國產 產品新舊 全新

芯矽科技的wafer多片式清洗機，以模塊化多腔室設計實現(xiàn)全自動流程，適配4-12英寸晶圓批量處理，產能達120-200片/小時。設備融合PVA軟刷、兆聲波清洗及智能化學配液技術，精準去除≥0.2μm顆粒，潔凈度達Class 100，滿足5nm以下制程及第三代半導體清洗需求，已服務長江存儲等主流晶圓廠，助力國產半導體高效高質發(fā)展。

詳細介紹

在半導體制造邁向高精尖的征程中，晶圓清洗作為關鍵核心環(huán)節(jié)，其效能與精度直接決定芯片良率與產業(yè)競爭力。芯矽科技深耕行業(yè)痛點，重磅推出的wafer多片式清洗機，以硬核技術為國產半導體注入強勁動能。

這款設備采用模塊化多腔室設計，構建起全流程自動化體系，可無縫適配4-12英寸晶圓的批量處理，單小時產能穩(wěn)定達到120-200片，大幅突破傳統(tǒng)單片清洗的效率瓶頸，為規(guī)模化量產筑牢根基。技術層面，設備創(chuàng)新融合PVA軟刷溫和刷洗、兆聲波深度去污及智能化學精準配液三大核心技術，構建起立體化清洗方案，可精準剝離≥0.2μm的超細微顆粒，潔凈度達到Class 100標準，匹配5nm以下制程與第三代半導體的嚴苛清洗要求，為芯片制造提供潔凈保障。

憑借性能，該設備已成功進駐長江存儲等國內主流晶圓廠，深度融入制造產線，以穩(wěn)定可靠的表現(xiàn)收獲行業(yè)高度認可。未來，芯矽科技將持續(xù)迭代創(chuàng)新，助力中國半導體產業(yè)在高質量發(fā)展道路上穩(wěn)步前行。

關鍵詞：清洗機

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