耐高壓、強(qiáng)度高、良好的化學(xué)兼容性

電子級(jí)超純氣體高效過(guò)濾，大流量在線氣體過(guò)濾
GIST®Mega 在線式超純氣體過(guò)濾器，專為大流量電子級(jí)氣體超純凈化開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)，過(guò)濾精度可達(dá)3nm。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，強(qiáng)度高，與多數(shù)類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于大宗氣體及惰性氣體。

產(chǎn)品特色
- 316L不銹鋼電子級(jí)拋光外殼
- 高通量低壓損
- 優(yōu)異的化學(xué)相容性
- 耐高溫、高壓
- 潔凈室制造和包裝
- 99%完整性測(cè)試
- 99%氦氣泄露測(cè)試

典型應(yīng)用
- 大宗氣體與惰性氣體