詳細(xì)介紹
電子級(jí)超純氣體高效過(guò)濾、結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高
優(yōu)異的化學(xué)兼容性、適用多種工藝氣體
GISTmini 超純氣體過(guò)濾器專(zhuān)為電子級(jí)氣體超純凈化開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì),過(guò)濾精度可達(dá) 3nm,設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,強(qiáng)度高,與所有類(lèi)別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體。
產(chǎn)品特色
- 316L 不銹鋼電子級(jí)拋光外殼
- 高通量低壓損
- 優(yōu)異的化學(xué)相容性
- 耐高溫、高壓
- 100%完整性測(cè)試
- 100%氦氣泄漏測(cè)試
- 潔凈室制造和包裝
典型應(yīng)用
- 晶圓制程PVD、CVD、刻蝕、離子注入等工藝氣體過(guò)濾
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